溅射原理 燿正达靶材科技(深圳)有限公司.ppt

溅射原理燿正达靶材科技(深圳)有限公司关永锋08/07/16Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司阴极表面会有什么发生?Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司当离子撞击靶材表面时,有4种重要的作用A,重新结合,中性化离子B,发射出二次电子C,阴极体发热D,阴极表面溅射Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司A,重新结合,中性化离子①由电源提供的电子覆盖在阴极表面离子获得其中一个这样的电子,重新结合成气体原子阴极辉光产生这个气体原子被反弹这个气体原子准备下一次的离子化结合掉的电子被供电电源重新填补上产生一股可测定的电流I②Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司B,发射出二次电子③离子从阴极表面释放电子二次电子产生依靠: 阴极/靶材的材质气体离子种类释放掉的电子同样被供电电源给填补一股电流I②产生Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司自由的,已经被释放的电子在电场中加速冲向阳极(基片,腔室壁)在这个过程中,④它们可离子气体原子Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司C,阴极体发热⑤加速离子撞击静止的阴极表面离子的动量传给了阴极表面上的原子阴极表面附近的原子开始振荡,相当于温度的升高。超过了95%的离子的能量被转化成了热冷却阴极是必要的(每1KW的功率需1L/min的冷却水)Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司D,阴极表面溅射加速的离子撞击静止的阴极表面离子的动量传给了阴极表面附近的原子,使得5-10nm深的原子发生振动动量被分给了多个原子⑥阴极表面附近的原子可以离开表面(大约1nm深)它们以电中性的原子形式穿过等离子体向各个方向发射(30-40eV,3-17km/s)Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司Tel:0086-755-29553800Fax:0086-755-29063401燿正达靶材科技(深圳)有限公司