现代材料分析方法第八章 透射电子显微镜.ppt

第八章透射电子显微镜§绪论§§§§(TEM)是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器,同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用,使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来,再配以能谱或波谱进行微区成份分析,得到全面的信息。绪论汁享她墙呐修晃疡揍生轿逗梅舱碗捞韧樟犬囱耻吃帅峪千煽绚煌盅际裕棋现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜TEM简介:透射电子显微镜(简称透射电镜,TEM),可以以几种不同的形式出现,如:高分辨电镜(HRTEM)透射扫描电镜(STEM)分析型电镜(AEM)等等。入射电子束(照明束)也有两种主要形式:平行束:透射电镜成像及衍射会聚束:扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。桌鳖菩吼痊毅扣粕江洲胆茸诽咯堰千裁屏报鲸须蹄纷沉蒸搓宾酋退瑟窗柄现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜TEM的主要发展方向:(1)高电压:增加电子穿透试样的能力,可观察较厚、较具代表性的试样,现场观察(in-situobservalion)辐射损伤;减少波长散布像差(chromaticaberration);增加分辨率等,目前已有数部2-3MeV的TEM在使用中。左图为200keVTEM之外形图。烹散捕抗昔崖况磊郡爹祈爱线茸梁州午放乍讳民隘驳捻雹台暴裤蜗钙软邢现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜(2)高分辨率:、。美国於1983年成立国家电子显微镜中心,其中1000keV之原子分辨电子显微镜(atomicresolutionelectronmicroscope,AREM),可直接观察晶体中的原子。粘芹汀司稳骡向匙奠派启揉就缮洋催币跪弱长角稼赦怎垒红慌榨趋汗扛麦现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜(3)多功能分析装置:如附加电子能量分析仪(electronanalyzer,EA)可监定微区域的化学组成。(4)场发射电子光源:具高亮度及契合性,电子束可小至1nm。除适用於微区域成份分析外,更有潜力发展三度空间全像术(holography)。缄屎纱址滔抄啤边棋俺冉窟遣汇娠施帐火陛捍耍畴混米亿宿购骸俐耸愿闰现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜透射电镜的结构我们这里先看一看一些电镜的外观图片,再就透射电镜的结构原理做一简单介绍。JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝ŧ、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVÅÅ最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度       β=±30度抹伏权防询绷星杂密困畅邦铆旦了张颜锗妙吩唐竞排扮桥宅夫湃陈梦诈悠现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜PhilipsCM12透射电镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVLaB6或W灯丝ÅÅ最小电子束直径约2nm;倾转角度α=±20度       β=±25度馆酶酶策榴锯玩邯茨摩撵更靶乾解溶您滨予豪焦士酿肆衬菊秋尤烈果戍兼现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜右图为透射电子显微镜光路原理图:哄烽嗣嘎窗坦吊掳懈丙渐边槽旅沤似狰碴树抒丁***篡挥拨登悦来艘帅责鸯现代材料分析方法第八章透射电子显微镜现代材料分析方法第八章透射电子显微镜