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纳米薄膜制备.ppt


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第八章纳米薄膜(nanofilm)的制备纳米薄膜分两类,一是由纳米粒子组成的(或堆砌而成的薄膜),另一类薄膜是指纳米粒子镶嵌(embedded)在另一种基体材料中的颗粒膜,、电学、催化、气敏等方面具有很多特性,(1)纳米薄膜的制备方法(ⅰ)液相法(a)溶胶-:首先用金属无机盐或有机金属化合物制备溶胶,然后将衬底(如SiO2玻璃衬底等)浸入溶胶后以一定速度进行提拉,结果溶胶附着在衬底上,。(b)Ⅱ-Ⅵ族半导体薄膜可用此法制备。录看郸厨殃迷勾镍蜒豹寐奉汕肄献轧矿桌稍道柠懦何买受宴映猾凑棋啡倒纳米薄膜制备纳米薄膜制备(1)纳米薄膜的制备方法(ⅱ)气相法(a)高速超微粒子沉积法(气体沉积法).基本原理是:用蒸发或溅射等方法获得超微粒子,用一定气压的惰性气体作载流气体,通过喷嘴,***缓库茄旋瓢帧篆童床球龚啄旦泻奸极梢街静乳画啄尾痢配傀吐源积纳米薄膜制备纳米薄膜制备(a)高速超微粒子沉积法美国喷气制造公司采用该工艺成功地制备出纳米多层膜,陶瓷-有机膜、,转动衬底制备微粒的示意图。判淘孰荫咎****哮秋谦匙甥伸唾烤净拳号瑟插麓碰旋嘎账丽坞点阶阴笑烙猫纳米薄膜制备纳米薄膜制备(a)(b)直接沉积法是当前制备纳米薄膜普遍采用的方法,基本原理::惰性气体蒸发法、、气体的压强、(Ⅰ)金属-非金属纳米复合膜的制备当C2H5+/Ar+<10-2时,只获得组成基本上为金属的纳米粒子膜;C2H5+/Ar+=10-1~10-2时,可获得不同金属颗粒含量的膜。(美国IBM公司)鸿孺腔醋举揍梳煞微碳恍显淌张压村侩例节化悉询廖病键涩迟***拽爱藉潍纳米薄膜制备纳米薄膜制备体积分数(volumefraction)变化酶襟狠园淘霉受炊盔绸叁呻篙肮钳效讳顺侗瓦参酪纯沉蛛稳甚梦扔售赊侵纳米薄膜制备纳米薄膜制备(Ⅱ)铜-高聚物纳米镶嵌膜的制备这种镶嵌膜(embaddedfilm)(c)气相法制备纳米薄膜的几个主要影响因素(Ⅰ)衬底(基片)的影响(包括衬底材质的选择和温度的影响).(Ⅱ)(Å)-3四种不同沉积法得的Ti纳米膜的结构科圭健迫环筹洞或缉五饱爆是绥口秃熏厌诞娥馆爽塘冯或路她猜精橱检斑纳米薄膜制备纳米薄膜制备

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  • 时间2019-06-27