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超精密及微机床的原理及设计方法,
摘要
随着科学技术的发展,各类微小型光机电元件日益增高的需求逐渐成为一种趋势,它们在国防军工、生命医学、航空航天和微电子等高技术领域中的应用越来越广泛。这些需求不仅要求微小型光机电元件尺寸小、表面精度高,而且形状特征大都较为特异。在这种趋势下,微细加工技术及超精密机床逐渐受到学术界和工程界的关注。微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一。论文介绍了一些典型微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机构进行了比较分析,最后介绍了应用实例。
关键词:微位移机构机械传动热变形弹性变形压电陶瓷直线电机
Ultra-precision and micro-machine theory and design methods & ultra-precision micro-machining of the model
Abstract
With the development of science and technology, the rising demand of kinds of small-sized optic-ponents gradually es a trend, they are used more widely in the high technology field of defence and military, life science, aerospace and microelectronics. These demands require small-sized optic-ponents not only have small size, high-precision surface, but more specific shape characteristic. Under this kind of trend, micro-fabrication technology is gradually concerned by academia and project circle. The micro-motion technique is one of key technique of precision machinery and instrument for hign accuracy .This paper introduction structure , principle and applications of some typical the micro-motion mechanisms. parisons among these are carried out. Application living example is also introduced
Key word: micro-motion mechanism machinery transmission thermal deformation elastic deformation piezoelectric ceramic linear motor
目录
第一章绪论 2
1-1 课题研究的意义 2
1-2 超精密技术机床发展的现状 2
1-3 超精密机床进给系统的重要性与微进给技术 3
第二章微进给技术 4
2-1机械传动式微位移机构 4
2-1-1螺旋式和差动螺旋式微位移机构 4
2-1-2组合式机械传动式微位移机构 6
2-2机电传动式微位移机构 8
2-2-1 直线电机式微位移机构 8
2-2-2 磁致伸缩式微位移机构 9
2-2-3 电致伸缩式微位移机构 9
2-2-4 压电元件式微位移机构 10
2-2-5 电热变形式微位移机构 11
2-3 其他形式的微位移机构 11
2-3-1 柔性铰链式微位移机构 11
2-3-2 形状记忆合金式微位移机构 12
第三章微进给机构的设计选择 13
3-1 现有微进给方法及其存在问题 13
3-2 微进给机构方案论证 13
第四章结论与展望 15
结论 15
展望 15
参考文献 16
第一章绪论
1-1 课题研究的意义
精密和超精密加工技术作为高科技领域中的基础技术,不论是在军用工业,还是在国民经济建设中部发挥着重要的作用,是尖端技术产品开发中不可缺少的关健手段,同时,它又推动着半导、体技术、光电技术、材料科学及测量技术等相关领域的发展。因此,精密和超精密加工技术是国家科学技术发展的重要支撑技术,也是衡量一个的重要标志。其最大的特点是在综合应用机械发展的新成就(新型轴承、导轨、传动装置、微位移技术等)以及现代电子、测量、计算机等新技