Macro 资料2.0.ppt

、基础知识篇作01二、操作规范篇作02三、安全规范篇作03四、、:在各种光源照射下,人通过操作机台调整玻璃位置,用肉眼检查玻璃基板上的宏观缺陷(涂布不均、异物、划伤等)。:Inline12台(抽检),Offline3台,Final16台(全检)。:Stage,照明单元,TouchPanel,ControlPC,AutoFocusPC,LaserPoint,KVM等。:白、橙、黄、绿。通过顶灯的Miracleglass,可以实现Focus和Diffuse两种状态。,BGR层使用M/H绿灯,OC层使用NA灯(Diffuse),PS层使用手持灯检查(灯光从M/H上接过来)。半透找位置,全透做判定。、(Sliding),前后(Moving),翻转(Rolling和Pitching)运动。、未涂布部分、未曝光部分,未曝光RGB层基板颜色分别对应偏黄,偏紫,偏青。,一般在检查过程中不会关闭,只需要在不使用时关闭灯箱Shutter即可。:基板Map图、Glass排出键、基板判定键。,2个金属卤素灯灯箱。,内外圈转动采用马达转动。,4个辅助基准,4个推进基准,10个Clamp。、基础知识篇①:为Mura图片显示器。能够选择显示前工序的Mura图像,以供Macro作业员参考。②:MacroPC显示器。显示Macro软件,供Recipe编写和Glass、Panel判定,Glass交换片操作使用。③:VCR显示器。显示VCR读取结果,确认镜头位置使用。④:人机画面及设备状态显示。供手动按键操作Macro各轴,设定各轴参数,显示设备通信状态及信息。⑤:手持控制器。供Macro使用人员更方便操作Macro。①②③④⑤、操作规范篇&三、安全规范篇注意事项:,不建议拉开幕布透气透光;;,不建议长时间盯着基板看,但是要注意设备运行状况,注意不能闭目休息;、气枪的位置不能随意摆放,不要随意玩弄气枪。安全事项:,要立刻按下紧急按钮,以避免发生人员或者设备的损伤;,是在门窗上使用的。当门窗被打开时,设备会自动停止运行,与EMO有相同作用;,一旦触发,设备就会停止。人员不要伸出手超过光闸部分查看。、、常见Mura篇BGR颜色混色后的感官效果:B+R-(紫色);B+G-(青色);R+G-(黄色);B+G+R-(白色)Process测定项目BMBMCDOK:Range<:RxRange<12/10000GyRange<20/10000ByRange<8/10000涂布前后端色度OK:RxRange<45/10000GyRange<60/10000ByRange<30/10000膜厚断差OK:G-R<-G<B-R<