洁净区环境监测规程.doc

洁净区环境检测规程1目的规定洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度,满足生产和检测环境的要求。2范围本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。3职责化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数。、(18-28)℃,相对湿度(45-65)%.≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa,不同级别洁净室之间≥5Pa。。,由两室静压力之差,为静压差。/:表1各级别洁净区风速的技术指标级别100级10000级100000级300000级风速m/s水平层流≥——————垂直层流≥——≥25≥15≥。,采样点为风口的四个顶角及中心位置(不少于5点)。计算5个点风速平均值,为一个风口的风速。:换气次数=∑(高效送风口风速×高效送风口面积):1次/:表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标级别100级10000级100000级300000级尘埃数粒/m3≥≤3500≤350000≤3500000≤10500000≥≤2000≤20000≤(1),总采样次数不少于5次。(2)最少采样点数目的确定如3表所示:表3:最少采样点数目面积m2洁净度级别100级10000级100000级300000级<102~3222≥10~<204222≥20~<408222≥40~<10016422≥100~<200401033≥200~<400802066≥400~<1000160401313≥1000~<20004001003232≥20008002006363注:对于100级的单向流洁净室(区),包括100级洁净工作台,面积指的是送风口表面积;对于10000级以上的单向流洁净室(区),面积知道是房间面积。(3)。采样点多余5点事,,但每层不少于5点。采样点分布见附录A(4)采样次数的限定对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得小于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次,且不同采样点的采样次数可以不同。(5)采样量不同洁净度级别每次最小采样量见表4表4最小采样量最小采样量L/次洁净度级别100级10000级100000级300000级≥≥