抛光片标准规格及术语讲义.ppt

抛光片标准规格及术语目录标准化组织SEMI标准内容SEMIM1-1109标准化组织SEMISemiconductorEquipmentandMaterialsInternational国际半导体设备材料产业协会SEMI是一个全全球高科技领域的专业协会,创立于1970年,拥有会员公司2300多家,会员乃从事半导体和平面显示灯方面的研发、生产和技术供应的公司。SEMI(国际半导体设备材料产业协会)是全球性的产业协会,致力于促进微电子、平面显示器及太阳能广电等产业供应链的整体发展。会员涵括上述产业供应链中的制造、设备、材料与服务公司,是改善人类生活品质的核心驱动力。自从1970年至今,SEMI不断致力于协助会员公司快速取得市场咨询提高获利率、创造新市场、克服技术挑战。ASTMAmericanSocietyforTestingandMaterials美国材料与试验学会ASTM成立于1898年,是世界上最早、最大的非盈利性标准制定组织之一,任务是制订材料、产品、系统和服务的特性和性能标准及促进有关知识的发展。随着业务范围的不断扩大和发展,学会的工作不仅仅是研究和制定材料规范和试验方法标准,还包括各种材料、产品、系统、服务项目的特点和性能标准,以及试验方法、程序等标准。100多年以来,ASTM已经满足了100多个领域的标准制定需求,现有32000多名会员,分别来自于100多个国家的生产者、用户、最终消费者、政府和学术代表。JEITA日本电子信息技术工业协会JapanElectronicsandInformationTechnologyIndustriesAssociation是一家行业团体,其宗旨在于促进电子设备、电子元件的正常生产、贸易和消费,推动电子信息技术产业的综合发展,为日本的经济发展和文化繁荣作出贡献。目前,正积极致力于解决电子材料、电子元器件、最终产品等众多领域的各种课题。JEIDA及EIAJ合并后产生。SEMI标准内容Tableofcontents-TopicalSilicon&SiliconOnInsulatorSEMIM/TSiliconMaterial&ProcessContralSEMIMFPackageSpecification&TestMethodSEMIGGases–ProcessSEMICProcessChemicals–hemicalandGasTestingSEMIC/FAutomatedMaterialHandlingStstemsSEMID/E/G/SEquipmentFacilitiesInterfaceSEMIE/FMinienvironmentsSEMIE/FTubing,Fittings,andValvesSEMIFHighPurityPipingSystemsSEMIE/FStatisticalControlSEMIE/MSafetyGuidilinesSEMISTerminologySEMID/E/M/PTableofcontents–SEMIMTopicalSiliconSEMIM1SpecificationsforpolishedmonocrystallinesiliconwafersSEMIM2SpecificationforsiliconepitaxialwafersfordiscretedeviceapplicationsSEMIM6SpecificationforsiliconwafersforuseasphotocoltaicsolarcellsSEMIM8SpecificationforpolishedmonocrystallinesilicontestwafersSEMIM11SpecificationsforsiliconepitaxialwafersforintegratedcircuitapplicationSEMIM12SpecificationforserailalphanumericmarkingofthefrontsurfaceofwafersSEMIM16SpecificationforpolycrystallinesiliconSEMIM17GuideforauniversalwafergridSEMIM18FormatforsiliconwaferspecificationformfororderentrySEMIM20PracticeforestablishingawafercoordinatesystemSpecificationsforPolishedSingleCrystalSiliconWafersRevisionHistorySEMIM1-1109(technicalrevision)SEMIM1-0701(technicalrevis