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特气及毒气Detector侦测器验收标准.doc
文档介绍:
特气扩充及毒气Detector侦测器扩充验收标准一.气体管路要求及验收标准1.气体管路测试标准气体种类耐压测试饱压测试HeliumleakParticlemoistureOxygenGN2keepthepressure≥2hr,andthepressureis9kg/cm2keepthepressure≥24hr,andthepressureis8kg/cm2--------≤50pc/cftat0.1µm----------------SiH4keepthepressure≥2hr,andthepressureis9kg/cm2keepthepressure≥24hr,andthepressureis8kg/cm2≤2×10-/sec≤20pc/cftat0.1µm≤10Inlet+10ppb≤10Inlet+10ppb0.5%PH3H2keepthepressure≥2hr,andthepressureis9kg/cm2keepthepressure≥24hr,andthepressureis8kg/cm2≤2×10-/sec≤20pc/cftat0.1µm≤10Inlet+10ppb≤10Inlet+10ppbNF3keepthepressure≥2hr,andthepressureis9kg/cm2keepthepressure≥24hr,andthepressureis8kg/cm2≤2×10-/sec≤20pc/cftat0.1µm≤10Inlet+10ppb≤10Inlet+10ppb0.5%TMBH2keepthepressure≥2hr,andthepressureis9kg/cm2keepthepressure≥24hr,andthepressureis8kg/cm2≤2×10-/sec≤20pc/cftat0.1µm≤10Inlet+10ppb≤10Inlet+10ppb2.气体管路验收标准1.检查各系统管线之路径是否正确。2.检查各系统管线数量、规格及管径大小是否正确。3.检查各系统管线是否配置整齐及确实依规定固定。4.检查各系统管线之标示是否详尽及正确,管线材质是否正确。5.检查各系统管线之垫片材质是否使用正确,固定是否良好。6.检查各系统管线之尺寸、高度、路径是否符合设计规格。7.检查各系统管线之管支撑之间距是否符合规定。8目视检查各系统管线是否水平或垂直无歪斜。9竣工数据须包含现场各系统供应之会签纪录及测试记录窗体。10竣工资料须包含每一气柜之配管示意图。11竣工数据须包含工程相片。13竣工资料须包含承包商自主检查表。14所有竣工图面及竣工数据皆须有电子磁盘档案﹙AutoCAD2004﹚15检查新增设备功能是否完全按照业主方进行设定,设备位置是否按图纸规划二气柜要求及测试标准功能要求NameQtyCylPurgePigtailCylinderconnectorAutoGuard0.5%PH3H2GC32+1Auto CGA√NF3BSGS14YAuto√Diss√SiH4BSGS14YAuto√Diss√0.5%TMBH2GC32+1Auto CGA√NameAutoswitchSprinkerTouchScreenControllerExh.sensorProcessFilter0.5%PH3H2GC√√√PLC√Pr 内容来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.