使用手册.pdf

文档编号 0331-000004 
 
 
 



LPCVD 使用手册
版本 ,06/2011
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

理想能源设备(上海)有限公司
修订记录
版本说明作者批准批准日期
06/2011
声明

本手册为理想能源设备(上海)有限公司所有,其所载内容为本公司的保密信
息。
本公司保留与本手册相关的一切权利,包括但不限于知识产权。未经本公司书
面同意或授权,任何组织或个人不得复印、复制或转载本手册内容,亦不得以任何
其它形式向任何第三方披露本手册内容。否则,本公司将保留追究其法律责任的权
利。
阅读指南

— 阅读对象
本手册的阅读对象,是所有使用 LPCVD 设备的且具有相关资格培训经验的工程技术人员,
包括系统工程师、工艺工程师、操作工程师和技术支持人员。

— 手册构成
本手册共分为七部分。
第 1 章安全;说明操作设备时所必需的安全要求。
第 2 章基本操作规范;介绍常用法兰、GASKET、O-RING 的使用和操作规范。
第 3 章软件操作;详细描述 LPCVD 控制软件的各种功能和操作步骤。
第 4 章电气电路介绍;详细介绍 LPCVD 设备电气电路的组成、原理以及控制系统构成。
第 5 章传送系统;介绍设备传送机构组成以及基本操作要点。
第 6 章反应腔体;介绍反应腔体的常见操作步骤。
第 7 章维护;介绍设备维护保养的注意事项,以及主要操作流程和注意事项。
目录

1 安全................................................................................................................................................................................. 1
2 基本操作规范................................................................................................................................................................. 4
洁净室...................................................................................................................................................................... 4
常用法兰操作.......................................................................................................................................................... 4
GASKET 使用......................................................................................................................................................... 4
O-RING 使用........................................................................................................................................................... 4
3 软件操作......................................................................................................................................................................... 5
基本介绍...................................................