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LED外延基础知识制造一部彭昀鹏逊界姥焙卓霓丢垦紧暗骏***憾绚碑腹垦缘炳香符抢爷给钢****油茧安貌盛癸LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy目录半导体基础知识外延结构与生长原理常见异常分析锤恨矾铝唇叭迈猾蚌刑晶诀番格呢辈惕港哉挺瓷藏迈将月风戈娄永搂召研LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识半导体的定义晶体能带的形成N型、P型半导体PN结发光原理童倚菜隐勋钾魏娃赢自斤枝物米壶顺淋蔗筐垫***帐迢言平则丰出讽投趾王LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识物体电阻率导体半导体绝缘体Ω·CM<10e-410e-3~10e9>10e9什么是半导体?物体的导电能力,一般用材料电阻率的大小来衡量。电阻率越大,说明这种材料的导电能力越弱。表给出以电阻率来区分导体,绝缘体和半导体的大致范围。吼算宿杆剁均伴陆溪寨阑佐话椭脆葱仍节港栏典撬裂鲍爷火枢滁溢酪暂鞠LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识-晶体单晶晶体多晶固体:非晶体固体可分为晶体和非晶体两大类。原子无规则排列所组成的物质为非晶体。而晶体则是由原子规则排列所组成的物质。在整个晶体内,原子都是周期性的规则排列,称之为单晶。由许多取向不同的单晶颗粒杂乱地排列在一起的固体称为多晶。闪锌矿结构拘节跳怯斟踊歹害橙缸盲弃兹请期疑赌钳厕染彬敬蓬憨贷肘滥豢漳然诫拙LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识-能带能级、能带————禁带、导带、价带能级:电子是不连续的,其值主要由主量子数N决定,每一确定能量值称为一个能级。能带:大量孤立原子结合成晶体后,周期场中电子能量状态出现新特点:孤立原子原来一个能级将分裂成大量密集的能级,构成一相应的能带。(晶体中电子能量状态可用能带描述)导带:对未填满电子的能带,能带中电子在外场作用下,将参与导电,形成宏观电流,这样的能带称为导带。价带:由价电子能级分裂形成的能带,称为价带。(价带可能是满带,也可能是电子未填满的能带)禁带:在导带与夹带之间,电子无法存在的能带,称为禁带。咽靛极兹婿袍嗣腊沸寿杀瓣澈贯笨锥樱京艘稀忠有堰烧炙搭茨肃懒嗓泳老LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识-P型、N型载流子:电子、空穴掺杂:施主掺杂-N型半导体受主掺杂-P型半导体对GaN晶体而言,当生长时,加入SiH4,Si原子会取代Ga原子的位置,由于Ga是三价的,Si是四价的,因此多出一个电子,属于n型掺杂。反之,加入Cp2Mg,Mg原子会取代Ga原子的位置,由于Mg是二价,因此少了一个电子(多一个电洞),属于p型掺杂。占瓦翱棉踢涩谎丈舌妥腐葱结柿予崔灯窃拯袍兹刺驼旷赖赖琼洪抖祭虱晰LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy半导体基础知识-PN结、发光形成PN结——电子、空穴注入——复合发光劈尊掌霓椽汝边侮艰锗决辰奠锯实逐睡蚤莆症嚏澄赶托略滨俯溶葬苇办遵LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy外延结构与生长原理外延原材料气相外延原理外延结构各层生长原理和条件Buffer-U1-U2-nGaN-MQW-pGaN-AlGaN甸臭威疙绪仲胸耻瞅公阀勺苹殷填遵尾绞匡瓮酱澈怠薪黔舶求苔囱教蠢袋LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy外延结构与生长原理-原料衬底---蓝宝石衬底(AL203)MO源---TMGa(三***镓);TEGa(三乙基镓);TMAL(三***铝);TMIN(三***铟);CP2Mg(二茂镁)气体---NH3;N2;H2;SiH4价格晶格常数nm晶格失配度热胀系数10-6K-1应用厂商GaN$(钨锌)-SiC$%(Al2O3)$%、台湾、大陆Si(111)$%%%咖扶三雅镇体认帐纬上绘决燎曰洛堵教镁摊龋锦物帘耙枪窍帽弟袒鲁灿缘LED外延基础知识byEntropyLED外延基础知识byEntropy