上虞晶盛单晶炉操作说明书.doc

上虞晶盛单晶炉操作说明书.doc:..(以下以TDR-85A-ZJS炉为例,其余炉型要求参照说明书)(1) 冷却水要求水压:炉子进出水压差要求介于2〜3公斤之间,;,炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤;水流率:炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟,单独电源要求供水量不低于20升每分钟;水温:推荐进水温度18〜24oC,最大不超过25oC;水质:弱碱性水,PH值6~9;***离子含量WIOppm,碳酸钙含量W50ppm;以纯净软水为好。连接方式:进出水管与炉子之间采用软连接,防止震动传递到炉子。(2) 压缩空气要求气压:27公斤;推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。流率:>;汽缸容积:主真空球阀:2升;辅助真空球阀:。(3) 电力要求相制:3相AC380V(±10%)/50Hz;功率:>192KVAo配电柜应装有500V、400V的空气开关,和380V/400A的隔离开关。(4) 炉子真空要求空炉真空度:W15mTorr;空炉泄漏率:W30mTorr/hr;带热场泄漏率:W50mTorr/hr。(热场已经锻烧完全)(1) 圮坍轴驱动部件的维护保养a、经常检查圮坍轴的冷却水是否通畅,避免冷却不充分而损坏堵堀轴;b、每个月对下轴丝杠至少清理一次,每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污,加上适当(不可太多)润滑油,然后上下快升降两次。(2) ,检查钢丝绳是否损坏(包括变硬、缠松、有严重毛刺等),如有损坏,立即更换;b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角,否则在运行过程中会引起抖动。(3) 水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足,确保所有水路没有堵塞,水温传感器运行正常;b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。(4) 翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀口密封圈是否完好,翻板阀操作是否轻松、无卡滞,底部挥发物是否打扫干净,如发现问题应及时排除。(5) 真空系统的维护保养a、经常检查泵油,上下腔油均应浸过小观察窗一半。如上泵腔油不够,应及时补新油;下泵腔油不够,需关闭球阀,打开左侧阀门,使上泵腔油下到下泵腔,然后关闭阀门。注意右侧阀门保持常开;b、每次大清,先彻底放尽泵腔内的废油(用手慢慢拉动传动皮带,盘出下泵腔内的废油),然后打开上泵腔,清除干净沉淀油污。最后换上新油;c、每次拆炉时,拆开真空管道所有盲板和波纹管,彻底清扫管内的粉尘。(1) 籽晶必须严格按要求每炉拆下进行检查,要求无伤痕、无裂纹;(2) 籽品使用炉数必须记录清楚,不清楚的,更换,然后重开记录;(3) 吊渣使用废旧籽晶,吊渣后换上可使用的籽晶,巾料和拉品,必须有细颈,拉品细颈直径要求3-5mm;吊料细颈直径要求5-7mm;(4) 拉晶过程,要经常(频率不低于1次/10分钟)观察液而、晶体等炉内状况,确保圮坍边缘没有结晶,防止籽晶被结晶扭断;(5) 在籽晶吃重时,升降籽晶转数,要分多次、小幅度(2转/分)进行;(6) 籽晶吃重时,快速升、降晶升,不得断断续续地进行,以免籽晶或细颈处被突然的加速重力或失重折断或损伤;(7) 剪断籽晶时要在细颈的最细处剪断,要注意用力适当,且不许用钳子扭断籽晶;否则该籽晶必须停用,交工段送抛光处理;(8) 每10炉更换新籽晶;真空差的炉子的籽晶要提前2炉更换。,为不合格,不能使用:(1) 磕碰损伤(位于圮埸上沿的微小碰损除外)(2) 裂纹(3) 严重划痕(4) 气泡处于内壁,并且已经开裂(5) 直径23mm的气泡,数量21个(6) 直径<3mm的气泡,数量25个(7) 线度尺寸^3mm的黑点,数量个(8) 线度尺寸v3mm的黑点,数量$5个(9) 线度尺寸<3mm的气泡、黑点,合计数量35个注黑点:处于堆竭内壁,液面淹没线以下的有色杂质点;气泡:处于堆竭内壁,液面淹没线以下,夹在圮竭壁内的空洞。(1) 外观检查结构致密均匀,无裂纹,无空洞等外观缺陷。(2) 纯度要求必须是高纯石墨,纯度>%;(3) 灰份含量灰份含量W300ppm。对于国产高纯石墨,如经试用合格,可以放宽到灰份含量W500ppm。***气要求(1) 气压:〜5公斤之间;(2) 气体流率:2275slpm;(3) 纯度:>%;推荐在氮气入口处使用压力调节器。(1) 装、拆炉时,操作人员要提高安全意识,严禁酒后作业;(2) 已安装磁场的