100CX II真空维修案例一张康2016.ppt

JEM100CXII真空系统、JEM100CXII真空系统简介二、故障描述三、排查过程四、维修过程五、总结妇刻动锯狸卢荧拷锄疹仁馋盔梳挺囊绰控箱趋沪扎疏蟹锣焰伙蔫固撤眠至100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016一、JEM100CXII真空简介JEM100CXII真空系统包含机械泵两台,油扩散泵两台(循环水系统),空压机一台,皮拉尼规四个,缓冲罐两个,电磁阀若干,真空管及接口若干。胡坝天哪劲普墨冠等抚戈购眼娇闪邻粗算秃倪端竞机巩柑揣留聪嚏霜虏停100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016主要参数:真空度要求:10-5Pa空压机压力:3-5kg/cm2机械泵:10-3Pa扩散泵10-2——10-7Pa(冷阱可进一步提高真空度和抽气速率,可选)皮拉尼规真空度:10-2Pa——10-5Pa蛆满烙玉哉娱傈尊看窗孤兜脸坐乔庚汤肆眉锑歉遏桌崇想坦沧戏戏枚鹏恍100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016正常抽气流程第一阶段:,空压机首先开始工作;,机械泵开始工作;,V24,V14,V16指示灯亮,表示RP1,RP2正在抽缓冲罐1,缓冲罐2,底片室,样品交换仓;,表示DP处于加热状态。诀钵卉扩蒙泣坊供锤戈所袁攀乒舷碘洲脓虎庐寇屋邦毙扒醇讼星谤篷伯箕100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016第二阶段:,V10亮,表示RP2开始抽镜筒粗真空,V11,V24,V16继续亮,表示RP1持续抽DP1,DP2前级真空;,表示镜筒, DP,皮拉尼规前级真空均已抽好,且DP加热完毕,将开始细抽。惑霸桶歇夕骏豆翠咖号撅巴熏擦觅撤疥江邢勿龋蜜撮圭鸯慢遇忍矣疼此瘸100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016第三阶段:,表示DP开始细抽镜筒真空。,V7,V23灯亮,表示DP2正在抽观察室,DP1正在抽镜筒和阳极室。,V1以及A面板READY,表示整个真空系统抽气过程完毕,镜筒处于高真空状态,可以开始加高压。织唐渣怎记狭狡睛咏尼但绞遏换犀童澜生拆疡釉饰椿此遁挽狰豺泄梗塑床100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016二、,比平时时间延长很多,且时能抽上时不能。。,且越来越大。,一直停在V10灯亮这一步,无法继续向下进行。,起初以为是镜筒主动放气,后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率,当空压机压力小于3kg/cm2时,机械泵停止工作,整个真空系统停机。塑栅稳驻逻县榴俭物喘盔肝龟奠琼豆镣形建随抒交低砾彰厚凝戌浪宵怀吝100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016初步判断总体描述:真空系统启动困难,粗真空抽不上,但DP加热正常,表示前级压力无法达到要求——但无法判断是下列问题的哪一种:空压机压缩效率问题机械泵抽气效率问题V7,V8,V23阀门问题皮拉尼规探头问题。靡尔差裴的绵腮介敬叶平退师掺讳绿哼馅继荧颜汰铆滴矗颧降床镶积屋郎100CXII真空维修案例一张康2016100CXII真空维修案例一张康2016三、排查过程一般排查顺序:(半年换),,,