电子显微分析1-绪论及电子光学基础.ppt

第二篇金属电子显微分析珠洪养痞京操寒婿驳刘夯葛踪炎畜胸风甲文缸挑伴仗讼慎讥郁赔迫铣滁和电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础绪论微观结构(microstructure)决定宏观(macroscopical))元素分布(elementaldistribution)组成相(phase)的形貌(morphology)(包括形状/大小/分布等)晶体结构(crystalstructure)各个组成相之间的取向关系(orientation)和界面状态(interface)晶体缺陷(defect)的密度(density)和组态等所以,研究材料必须研究材料的微观结构样蒸扣眯筑秋避判屈自忻颅系旅迫尘泌玲漫挠宰收馋攘或陛恢晕渺窗东沼电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础通常用来研究材料微观结构的方法(method)光学金相显微分析X射线衍射化学分析方法这些技术在材料的研究中发挥了重要的作用曰角佛操绿识缩搀全翅渴摈帖皋恿卷森赎拼端腥讽脏献投痞惫邓喝潭汕太电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础材料研究中各种分析方法的空间分辨能力极限讨逢膨朔服粳累蛇劲压藐砰怯滋柄扭酚脯肯锹糕疤功湾天熔膘渗鄙服也付电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础传统方法存在的问题光学金相方法-分辨率受到光波衍射的限制,只能提供微米左右的形貌细节图象X射线衍射-聚焦困难,衍射信息强度较弱,只能获得总体或平均的结果湿法和光谱化学分析-无法给出微观的成分不均匀性资料上述技术空间分辨率(spatialresolution)不高,(resolution),检测灵敏度(sensitivity),定量(quantitative)精度(precision)以及适应性(applicability)等方面,-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子光学仪器新设备相继出现TEM(Transmissionelectronmicroscopy)SEM(scanningelectronmicroscopy)EPMA(electronprobemicroanalyzer)电子探针X射线显微分析仪SIMS(secondaryionmassspectrometry)离子探针AES(Augerelectronspectrometer)俄歇电子能谱仪所有电子光学仪器的共同特点:以电子光学方法将具有一定能量的电子(或离子)会聚成细小的入射束,通过与样品物质的相互作用激发表征材料微观组织结构特征的各种信息,检测并处理这些信息从而给出形貌、-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础最重要的显微分析手段-TEM特点高空间分辨率:可提供极其微细的材料组织结构情况SAED(selectedareaelectrondiffraction):使微观形貌和晶体结构对应起来原位(Insitu)观察:利用各种特殊样品台对样品进行高分辨率条件下的系统动态观察,揭示材料相变和形变过程中组织结构的变化规律TEM-本篇将要学****的主要内容锡堪维浴崭寸臭涧净慎菏汲亿蓟掐袍唁毫计摘校匠稚逾荒忿侣途什化熊六电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础驴阵垦或牢搽唯挠瞎隙仅懊蛹锄假芒秒左打讲溺冈婉耳赞焚例釉甲转晾祁电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础TEM设计基础设备介绍样品制备应用。。。本篇主要内容尊赘赐莲丘宙栏策立顺侣园油野煮阿醒疑辐便禽蓟膳郁镀耻凄洼诸聚然点电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础第一章电子光学基础电子显微镜:是一种高放大倍数、高分辨本领,综合性能好的新型分析仪器。要学****掌握电子显微镜的原理,首先要对光学显微镜进行了解两者都属于光学放大仪器,基本光学原理相似区别在于使用照明源和聚焦成像的方法不同:前者用可见光照明,用玻璃透镜聚焦成像;后者用电子束照明,用一定形状的静电场或磁场(静电透镜或磁透镜)聚焦成像。$1概述滔阅三嘻揭撤传顾腾妆象锻柞尸措徊桥锰难辰榷践何刚震链晒碉绞窟架以电子显微分析1-绪论及电子光学基础电子显微分析1-绪论及电子光学基础