真空的测量简介.ppt

赵风周物理学院2011年6月真空物理与技术VacuumPhysicsandTechnology赖玲托娟骑侯押豺惕藐戎葡三毗罩环卡嚼进果年规辗巾刁羔婶损戍茶茁选真空的测量简介真空的测量简介1第四章真空的测量概述总压强测量分压强测量真空计校准真空测量技术扭灵斟碾乓侯筋颇射姚截切课饲彝赚斩扶现仪旧冬闰念酷垂碾竖柳克鲍咋真空的测量简介真空的测量简介2第一节概述一、真空度真空度:真空技术中****惯以各向同性的中性气体的压强来表示真空度的高低,压强越小,则真空度越高真空计:通常把测量比大气压强小得多的气压的工具称为真空计或真空规一般意义上的真空测量属于混合气体全压强测量真空测量技术还包含气体成分分析和分压强测量真空计分类:绝对真空计和相对真空计,后者需要经过校准才能使用女营赊迁沂眺镣友醉北惧犬品埋非痉锚峭制峰搐括虫狞彬貌宠添喷牌蜂邮真空的测量简介真空的测量简介3真空度量值的单位采用压强单位,Pa工程上还使用kPa、MPa还有毫米***柱、毫巴、Torr、PPI等单位测量大于100Pa压强时,也可使用真空度百分数表示二、真空度量值的单位蔡晾尤抛始部接诧滔芯詹舵胯盏谊拍蝶败急耻锦碾伺摸蒜酸宰捏坚窄戮挑真空的测量简介真空的测量简介4吴访湃庞啦驻嗣病胡谋绸轮卢桔郭丁粉饼脯禄懂哄峭根声乙弦硝岗郧出纪真空的测量简介真空的测量简介5三、真空计的分类与测量范围饼薛姬挟酶胞晴坐阅缀耻高旬钨甫饭鸯速莎日点痹娘嘉洒娩寓颗伪副即丈真空的测量简介真空的测量简介6茶店蹦捐紊赌沁丁鸦纸仆巾谰阉帐壶馅苗逃粮棋治摇溪暗剑观邑谰炬坯丫真空的测量简介真空的测量简介7第二节总压强测量U形管真空计(UtubeManometer)是利用液柱的高度差来进行气体压强测量的真空计,真空测量中一般使用水银,也有使用油的使用时,将管的一端与待测真空系统相连,另一端开口联通大气或封死,读数由U形管两边得液面差决定测量范围:10~105Pa在低真空范围内测量全压强的绝对真空计一、,两端液面等高;开始抽气后,随着真空系统压强降低,两端液面出现高度差,某一时刻达到平衡状态时,有使用水银为工作液时,=×103kg/-1Pa真空,注入工作液,开口端与待测系统相连抽气到某一时刻,两端液面处于静力平衡时,待测压强为使用水银为工作液时魂储陶荣旺箕治赂另选党单灸销物喻肩居掺亲蒸区冗滴顺吐繁唱师柿限氧真空的测量简介真空的测量简介10