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器件介绍研究生系列课程-半导体微纳加工技术-----Micro-electro-mechanical-system微电子机械系统------把信息传感、处理,机械执行机构以及其他一些微器件,按照集成电路的制造原则,以高密度,低成本的方式集成在一个微系统中。什么是MEMS?MEMS的主要特点MEMS器件的优点是体积小、重量轻、性能稳定,通过IC等工艺可批量生产,成本低,性能一致性好,功耗低,谐振频率高,响应时间短,综合集成度高,附加值高,具有多种能量转化、传输等功能,包括力、热、声、磁及化学、生物能等。微机电学作为一门新兴的交叉学科,涉及到许多科学技术领域,包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需要对这些学科领域有广泛的、深入的了解,微机电系统才有可能逐步走向应用。MEMS工艺的可重复性MEMS产品性能的稳定性和可靠性MEMS产品的成品率MEMS产品的封装和测试MEMS器件与电路集成形成微系统MEMS发展面临的机遇和挑战惯性MEMS器件RFMEMS器件NEMS器件和新型材料MEMS器件MEMS器件的发展惯性MEMS器件在汽车业中的应用(包括微陀螺、加速度计、压力传感器)研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术MEMS分类OpticalMEMSBio-MEMSSensorsActuatorsNano-ToolsMicro-Fluidics研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-elerometerSensefingersAnchorProofmassSpringsSelf-testactuatorsCurlmatchingframeproofmassyxzTri-axismicrostageThin-filmz-elerometerDRIEz-elerometer