TCAD工具仿真流程及在ESD防护器件性能评估方面的应用.pptx

第7章TCAD工具仿真流程及在ESD防护器件性能评估方面的应用2019/12/62/65本章内容工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程工艺和器件仿真的基本流程TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估浙大微电子2019/12/63/65本章内容工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程工艺和器件仿真的基本流程TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估浙大微电子2019/12/6TCAD仿真工具介绍目前世界上有三套TCAD仿真工具:TSUPREM4/MEDICI、SILVACO(ATHENA/ATLAS)、ISE(DIOS/MDRAW/DESSIS)MEDICI和ATLAS都包含器件描述工具和器件仿真工具,在ISE中器件描述和器件仿真被拆分成MDRAW和DESSIS。4/65浙大微电子2019/12/6TSUPREM4/MEDICI仿真的基本流程:5/65浙大微电子2019/12/6SILVACO(ATHENA/ATLAS)仿真的基本流程:6/65浙大微电子2019/12/67/65ISE-TCAD仿真流程:浙大微电子2019/12/6输入输出:**.inp**.tl1TSUPREM4Medici格式**.outMEDICI**.out**.inATHENA**.strATLAS**.str**.log****.tl1DIOS**********-4/MEDICI的仿真示例ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估浙大微电子2019/12/6工艺仿真流程网格定义结构初始化工艺流程结构操作保存输出10/65浙大微电子