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第十二届三束（电子束、离子束、光子束）学术会议模板.doc

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第十二届三束(电子束、离子束、光子束)学术会议第十二届全国电子束、离子束、光子束学术年会征文通知为发展我国电子束、离子束、光子束技术,由中国电子学会半导体与集成技术分会和生产技术分会联合主办的“第十二届全国电子束、离子束、光子束学术年会”将于2003年的金秋在北京市近郊召开,会议由中国科学院微电子中心和中国科学院电工研究所联合承办。现将学术会议的征文工作通知如下:一、征文范围:、、(包括器件和集成电路)、-射线光刻(包括掩模)(MBE)、CBE、(包括PECVD、溅射等技术)、离子束、、离子束、(包括相移光刻、远紫外光刻、激光光刻),、离子束、、、征文要求:论文内容应突出近两年来在研究工作中所取得的成果并且没有在国内外公开刊物或其它学术会议上发表过的论文,均可投稿。论文要求以稿件形式挂号邮寄。每一篇论文提交一式二份打印稿(供评审),不接受手写稿件。请自留底稿,无论录用否,均不退稿。,论文格式要求如下:论文题目用2号字,作者姓名,单位、邮编及正文用五号字,字体统一用宋体。版芯尺寸为155´225mm2,不加页码。为保证论文集的质量与版面统一,,同时提供软盘或用E-mail将论文发至maoyl@,zkzx@信箱(将排好的文章存成doc文件,用E-mail下的“附加文件”功能将

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