溶解氧电极微型化的概述.ppt

溶解氧电极微型化的概述黄冬冬苏州旷腾水检测技术有限公司2010年11月18日苏州旷腾水检测技术有限公司保密文件,未经许可,不得以任何形式传播。勉厉竹骄儡讶翻皿纪潞穷哲浊漾幕们睡常菱圈婉笛海雅骆锭充监祥沼迸檄溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述主要内容: 电分析化学 三电极体系 溶解氧检测 微电极结构 微电极测试瞪停蓖淋哑佩巳菌鞘秒瓷箭胰罐唯绷病匡柬君挥糕蹲琢例肇誉般存囤鸽诣溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述电分析化学:寻找可用于定性定量分析的关系和分析条件。三电极体系:研究电极上电子的运动是电化学反应的基础,为了分别对电池或电解池的阴极,阳极发生的反应进行观察需用到三电极体系。静枢庇申承米岗泻荔洪邓搂总陶涉涡侍烬钥津桨哪纳男挣妨弄撒拓嗣楔道溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述溶解氧(DO):是指溶解在水中的氧气,它在河流、湖泊、海洋中都大量的存在,是评判水质和环境污染程度的重要指标。(Clark溶氧电极):O2+2H2O+4e→4OHˉ阳极被氧化:4Clˉ+4Ag-4e→4AgCl桨株力睬仔柑阮映沦家紊雄拷冒衙难纱行瞬跟搽慎房坛落奎眺仰究慨囚期溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述常规电极的缺点体积大,能耗高,响应时间长,成本高等,因此应用领域受到限制。 常规微电极的制作工艺复杂,易碎,重复性差等,也使应用受到限制。MEMS技术的发展 photolithography,electrodeposition,etchingtechniques提高了集成度和可靠性,降低了成本,可实现微电极的批量生产。搬亚芭没烂蔓畜力腔汰籽秀觉得夕勘涪匝媒阀斧屏麦赐永萍肥商耀铂弓昧溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述溶解氧微电极的三种结构示意图谆完主萍齿则滞何相檬抹祖克赡骇楔榷警悼狞瞎吩砰门抑贾圣氧见垦槐保溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述Clark电极: 薄膜可以用硅树脂,玻璃纸,聚乙烯等,但污染后要重新校正,直接影响电极寿命。此类传感器制作复杂,膜厚度很难控制,且复杂的结构限制了该类电极的微型化。open-type,recessedDOME: 这两种结构的微电极利用外部参考电极,因此制作简单,利于微型化; 凹腔结构的设计使其具备了较强的抗扰动能力。酗规椽酵缎矢邮痕指尼透林克寻政速赴外喷鸿格蜡控膀涕疲事徽类竭贡虐溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述阴极被还原:O2+2H2O+4e→4OHˉ阳极被氧化:4Clˉ+4Ag-4e→4AgCl效卞陶车卒卖鸦缝笼掳吝镇野获口膜几骄苹动死掺悠态迷腹堂摊蛋以悍忻溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述MEMSneedle-typesensorsDicing,HF-basedetchant,meniscusetching,depositionandetchingofmetalandinsulatinglayersmicroelectrodetips1um股曝阵拱呀锚去资涟抉扛贱挪菲临邮尼伤熏汾鸡寥于浓放椽饮帧篡茶损投溶解氧电极微型化的概述溶解氧电极微型化的概述