陶瓷基板制造的技术.pptx

第一节陶瓷基板概论1、陶瓷基板具备条件2、陶瓷基板的制造方法3、流延成型工艺4、陶瓷基板的金属化第二节各类陶瓷基板1、氧化铝基板2、莫来石基板3、氮化铝基板4、碳化硅基板5、氧化铍基板1第三章陶瓷基板制造技术1、氧化铝基板(1)Al2O3陶瓷的基本性质优良的机械强度;良好导热特性,适用于高温环境;具有耐抗侵蚀和磨耗性;高电气绝缘特性。2良好表面特性,提供优异平面度与平坦度;抗震效果佳;低曲翘度;高温环境下稳定性佳;可加工成各种复杂形状。3(2)Al2O3晶体结构具有多种同质异晶体;a(三方)、b(六方)、g(四方)、h(等轴)、r(晶系未定)、χ(六方)、κ(六方)、δ(四方)、θ(单斜)-Al2O3等10多种变体;主要有a(三方)、b(六方)、g(四方)相;a-Al2O3为高温稳定相,工业上使用最多。4a-Al2O3Al3+与O2-之间为强固的离子键;O2-阴离子近似于密排六方排列;Al3+阳离子占据了2/3的八面体空隙位置,即每个Al3+位于6个O2-构成的八面体的中心;a-Al2O3结构的填充极为密实,其物理性能,化学性能稳定,具有密度高、机械强度大等特性。5(3)Al2O3陶瓷的分类及性能6按含量来分:高铝瓷:>85%刚玉瓷:>99%白色紫色黑色99瓷:~99%95瓷:~95%90瓷:~90%按颜色来分:7(4)Al2O3陶瓷原料生产8Buyer法铝矾土铝酸苏打溶液成核剂水铝矿过滤、煅烧、脱水a-Al2O31100-1200ºCAl2O3·3H2ONaOHaq.(5)Al2O3陶瓷基板制作方法(a)Al2O3陶瓷成型助烧剂 厚膜用:Al2O3-SiO2-MgO、CaO,提高金属化层的浸润性; 薄膜用:%MgO,得到密度高、表面平滑基板,MgO抑制烧成时Al2O3颗粒长大(Cr2O3抑制MgO表面蒸发)。910粘结剂: PVB(聚乙烯醇聚丁醛树脂)分散剂: DBP(邻苯二甲酸二丁酯)、鱼油、合成油烧成温度: 1500-1600ºC气氛: 加湿H2、H2-N2、NH3的分解混合气