两探针电阻率测试仪小图大图1、概述 KDY-2型两探针电阻隔率测试仪(以下简称两探针仪)是按照我国国家标准及美国材料与试验协会(ASTM)推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适合于测量模截面尺寸是可测量的,而且棒的长度大于横截面线度的有规则的长棒,例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出,远离电压测量探针,因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应(如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等),对测量的影响较小,因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。特别是对多晶材料的测量,由于多晶晶粒间界处,杂质局部偏析可能导致电阻率较大变化,这种影响对四探针法更为严重,故不推荐用四探针法测量多晶材料的电阻率。 本仪器主要由电气测量部份(简称:主机)、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关,在测量某些材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护被测材料。仪器配置了本公司的专利产品:“小游移探针头”,%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机可配用HQ-710C数据处理器,置入必须的数据后,处理器会配合探头在硅棒上移动测量,自动计算、打印出各点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的最大值、电阻率最小值,给测量带来很大方便。 2、主机技术参数 (1)测量范围:可测硅晶体电阻率:-50000Ω•cm可测硅棒尺寸:最大长度300mm;直径20mm(均可按用户要求更改)。 (2)恒流源:输出电流:-100mA 五档连续可调量程:-(1-10μA) -(10-100μA) -
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