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电子厂洁净室系统详解ppt课件.ppt

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:Mainlybusiness:HVAC&洁净室系统Cleanroomsystem洁净管道系统Sanitarypipingsystem自动化系统AutomationSystem项目管理&---,保护周边环境Toprotectthestaffandtoprotecttheoutdoorenvironment..洁净系统控制------洁净度Cleanness-Particlenumber/洁净度-尘埃粒子数atrestinoperationGrademaximumpermittednumberofparticles/,500203,5001*B3,50029350,0002,000C350,0002,0003,500,00020,000D3,500,00020,---洁净度Cleanness/洁净度-:PIC/---温湿度TemperatureandRelativeHumidity/温度和相对湿度CleannessTemperatureRelativehumidityGradeBS:22℃W:20℃55%GradeC,GradDS:24℃W:20℃55%,参数可根据需要进行调整.

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