TEM操作步骤及注意事项.docx

AI20透射电镜目录电镜操作面板......................................-2-使用步骤:..........................................-4-放置样品.....................................-4-合轴.............................................-4-拍形貌.........................................-5-踩带轴.........................................-6-拍衍射......................................-6-能谱分析...................................-7-高分辨......................................-7-拔样品杆及关机.......................-8--1-—+光速球FineCourseExposure多功能钮XFineCourse(不用)L1(做高分辨时,使Focus归零)L2(降SpotSize)L3只是打衍射采带轴时用光束倾转调节光斑大小一般不用多功能钮YDarkfieldDiffractionMagnificationWobblerEucentricfocus样品杆—+Focus中间R1(抬屏)R2(不用)R3(升Spotsize)Z(高度,调焦)拍暗场像升降倍数调焦左面板右面板下电镜操作面板左面板上左IntersityStigmator右-2-C1(不动)C2物镜光阑(拍形貌)1—7档,外调位置,内调大小选区光阑,(拍衍射)镜筒注意事项使用电镜时,首先要观察电镜的状态。有黄色背景的按钮,要谨慎。观察一系列数值,包括:最佳电流值、Spotsize、样品各坐标是否都归零等。-3-Gun1Colum≤6Camer≤20使用步骤:,夹子不能碰到银环,放置后,用手振动玻璃管,使样品至中间状态,然后用螺丝帽压紧(不可过紧,固定住即可),要使杆上小柱的位置对准左上角螺丝,插至凹槽完全进入,然后连上数据线。确认在双束(双倾台不是双束)下,点两下回车。打开抽真空示意图→VacuumOverview,开始抽真空。,逆时针旋转小柱对准Close,插入。抽真空共分成两段时间,第二个倒计时结束后,即红灯一灭,必须在20秒内将样品杆逆时旋入。旋入样品杆时,要一手拿着,一手托着,放置进入过快。然后点Tubeon。然后点ColValuesClosed。,取下蒙皮。→Search,即可看到样品所在位置。开始找样品中心空洞。,低倍(6200X或8700X)下找到薄区(朝着光亮处找)。然后调焦。(按Eucentric-4-focus)。,然后将光斑移至孔区域,开始合轴。观察光斑是否为圆形,非圆形时要进行调圆→condenser,调圆后点→。在Tune菜单下进行操作。(1)Spotsize2→Gunshift→光斑移至中间→Done(Spotsize大小用R3和L3进行加减。)(2)Spotsize6→Beamshift→光斑移至中间→Done重复以上步骤,直至光斑在中间位置。(3)然后将Spotsize降至1→光斑缩小并移至中心(确认光斑在顺时针放大逆时针缩小状态)→点击BeamshiftPPX→调动多功能钮至两个圆重合→DoneBeamshiftPPY→调节多功能钮至两个圆重合→Done(4)移动样品杆,将样品边缘对准中间小黑点,然后抬起左侧的小镜子→RotationCenter→调节多功能钮至视野中样品上下跳动(不能左右晃动)→、6合轴,散开光斑。—86000X下都可以进行拍摄。套上物镜光阑,先用最大的光阑找区域,然后换成小号。用物镜光阑套住感兴趣的区域。-5-