【推荐】氮化铝生产技术19.doc

【推荐】氮化铝生产技术19.doc氮化铝生产技术19畿明暮利^明害※申言青案魂:099104597PC分炼一、 畿明名桐:氮化铝之裂偷方法ManufacturingMethodforAIN二、 中文畿明摘要:一灌氮化方法,彳系包含:将第粉及一-表面改割均匀混合形成-反1®物,舫将2^反雁物置放於一容器中;及使^容器中的反雁物暴露於一含氮氧股中,舫加熟至660C以上的温度使^反雁物燃燃,於加熟遏程中,,以於^第粉之表面形成-陶瓷屑,且^铝粉因燃燃而舆含MMM行燃燃合成反雁而形成氮化第。三、 英文畿明摘要:prisesmixingAlpowderandamodifyingagentasareactantandplacingitintoacontainer;exposingthereactantinthecontainertoanitrogenousgasandheatingthereactanttooverandabove660°、 指定代表园:(一) 本案指定代表|闹舄:第1|留(二) 本代表圈之元件符号虎筒鸵京明:五、 本案若有化毕式畤,言青揭示最能示畿明特徵的化孥式:六、 畿明^明:【畿明所属之技彳标镇域】[0001]木畿明彳系li於化第之裂彳苗方法。【先前技彳打】[0002]氮化第由於具有侵越的性,良好的■郁彖性,低熟膨服率,良好的抗熟震性舆良好的抗侵触性,近年来,已成舄工桨上桎舄重要的材料。它在言午多高科技的工棠上橄具雁用潜力,例如可作舄稍股雷路封装材料及高熟傅驴复合材料使用,亦可雁用於雷子基板、高功率LED晶片戴板、宅子元件散熟髓或耐高温容器之裂作。[0003]目前者用氮化第之毂^方法通常彳系分舄机;相反废法、有横金端前^物法、氧化第粉碳素巡原氮化法、金的直接氮化法及燃燃合成法等。[0004]以者用标相反雁法而言,反雁式如式(1)所示,其主要彳系於900K至1500K之温度逸行操作5小畤以上,以反雁生成结晶形及非晶形之氮化iH(AlN)粉股。[0005]A1C13(g)+4NH3(g)fAlN(s)+3NH4Cl(g)...(1)[0006]然而,言亥麻相反I®法所需反雁畤冏需逢5小畤以上,旦一般席•物之例化率彳堇约舄80%,•率小,不it合工桨生谨・。[0007]以者用有檄金属前物法而言,反雁式如式(2)〜(5)所示,其彳系於400K至1000K之温度下it行操作,所需反雁畤冏舄10至240分疆,反蚩中,烷基(R)舍裂解谨•生碳,必硝再将麻•物置於空麻中加熟除碳,此一步骤可能辱致氧含量增加。[0008]R3Al(l)+NH3(l)fR3A1NH3') (2)[0009]R3A1NH3(1)-R2A1NH2(1)+RH(g) (3)[0010]R2AlNH2(l)fRAlNH(l)+RH(g) (4)[0011]RA1NH(1)一AlN(s)+RH(g) (5)[0012]此外,此方法亦有步骤繁褪、耗能源、成本高、,而不it合工桨生鬣[0013]以者用氧化第粉碳素遢原氮化法而言,反雁式如式(6)所示。其彳系瘠氧化第粉及碳粉均匀混合,,所需反雁畤冏亦需5小畤以上。[0014]Al203(s)+N2(s)+3C(s)->2A1N(s)+3C0(g)...(6)[0015]然而,用氧化铝粉碳素遢原氮化法仍殖於高温下反雁五小畤至敷十小畤,因此具有耗畤耗能之缺黑占;再且,舄了使遢原氮化反雁完全,必^加入遏量的碳粉行反B,而添加遏量的碳粉将畲需要再it—•步利用高温去除殛碳,因此需要消耗更多的熟能;再且,以高温氧化方式除碳遏程中,又可能造成氮化第粉之氧含量提升,而造成氮化第之熟傅尊率大幅降低,而造成氮化铝粉的品下降。[0016]以者用金屠铝直接氮化法而言,反雁式如式(7)所示。其彳系於1000K至1500K之温度璟境下it行操作,所需反miws小畤以上。[0017]2A1(s)+N2(s)->2AlN(s) (7)[0018]然而,金^第直接须化法亦需在高温下it行五小畤至数十小畤之操作方能完成反愿,因而亦有耗畤、耗能的I哥题。此外,衿用金M^rH接敏化法在高温反1®遏程中,第粉舍因舄高温融聚,而形成墟状之铝,造成氮麻照法渗入犬铝内,使得反雁照法is行。因此必^在反雁遏程中,督停反雁,於冷wmi\,再形成^粒状之第粉,再放入高温燃中反雁,如此重祓敷次,才能使氮粉充分接儡,而逢到高的例化率。如此,造成^金娜第直接氮化法具有裂程繁*复之缺黑M再旦,^多次研磨之程序亦将引入雄使得^晋用金接氛化法除了耗畤及耗能之外,尚有步骤繁祓