固体薄膜材料的制备方亮重庆大学数理学院2019年4月20日2019/3/212主要内容?薄膜的制备方法,含:---真空技术基础---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法?典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜2019/3/213真空技术基础?真空及真空的常用单位?真空的分类?真空泵?真空的测量2019/3/214真空及其单位?真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高,压强越小。?常用计量单位:Pa,Torr,mmHg,bar,atm.。关系如下:?1mmHg=,?1Torr=atm/760=≈1mmHg?1bar=105Pa2019/3/215?粗真空:1×105~1×102Pa目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺?低真空:1×102~1×10-1Pa真空热处理。?高真空:1×10-1~1×10-6Pa真空蒸发。?超高真空:<1×10-6Pa得到纯净的气体;获得纯净的固体表面。真空的分类2019/3/216真空系统的组成?典型的真空系统包括:---真空室(待抽空的容器);---真空泵(获得真空的设备);---真空计(测量真空的器具);---必要的管道、阀门和其他附属设备。2019/3/217真空泵?获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此,通常是将几种真空泵组合使用.?前级泵:能使压力从1个大气压开始变小,进行排气的泵?次级泵:只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。?如机械泵+扩散泵系统,为有油系统;吸附泵+溅射离子泵+钛升华泵系统,为无油系统。2019/3/218主要真空泵的排气原理与范围2019/3/219真空的测量?热偶真空计:利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。典型的有热阻真空计和热偶真空计两种。?电离真空计:目前测量高真空的主要设备2019/3/2110主要内容?薄膜的制备方法,含:---真空技术基础;---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法?典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜
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