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XPS能谱数据处理
王博吕晋军齐尚奎
中国科学院兰州化学物理研究所
能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。
下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠
一、多元素谱图的处理:
1、将ASC码文件用NOTEPAD打开:
元素名称
X轴起始点
采集的数据点总数
X轴步长
Y轴数值
2、复制Y轴数值。打开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y):
3、如图:点击工具栏plot,选择line
4、出现下图:点击B(Y),再点击<->Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。
5、点击OK,得到下图:
6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。
位移:
1)如图:选择analysisàtranslateàvertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。
2)在图中双击峰顶,如图示(小窗口给出的是此点的X,Y值)
3)然后在图中单击其他位置找到合适的X值(小窗口给出的是红十字的X,Y值)
4)双击红十字的位置,峰顶就会位移到此处:
位移可以反复多次的进行,垂直方向的位移和水平方向的一样。
B、平滑
1)如图选择:
2)出现下面的小窗口
3)点击settings出现下面的界面(如果想用平滑后的代替原始的,选择”replace original”,如果想重新做图选”add to worksheet”,下面的数值不用改变)
4)点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图:
二、剖面分析数据处理:
1、用写字板打开ASC码文件,选取所需要的元素
Y轴数据
起始值及步长
元素名称
剖面分析中的CYCLE 数
2、打开ORIGIN软件,如图示:选择columnàadd new columns
如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。
然后在B(Y)….J(Y)中依次输入不同cycle的Y轴数值
点击图中下方工具栏的waterfall
waterfall
然后在下图中先输入X轴起始值及步长,再将Y值输入(点击B(Y),然后按住
SHIFT键不放,再点击最后一个Y值选项:如E(Y)),松开SHIFT 键,点击ADD 键。
点击OK得到下图:
颜色代表字母,对应于cycle数
前后翻转工具,用上法作图,得到的谱图需翻转
选项X OFFSET 决定视角,Y OFFSET 决定两条谱线间距
谱图修改工具栏
应用修改工具得:(X OFFSET 设为0,Y OFFSET 设为100)注意谱线对应的CYCLE数
如果想要得到其中某一个cycle的谱图,只要调出原来的worksheet(数据表),再次点击waterfall。输入X轴数据,然后只选一组Y轴数据(和多元素分析一样),就可以了。
注:不同样品同种元素比较也可以用此种方法
三、谱图解叠:
和多元素分析步骤一样,经过平滑、位移,得到下图:(注:画图时,先输入X轴步长等,再输入Y轴数据)
去本底:选择toolsàbaseline
出现下面的窗口,选择baseline,将number of points后的参数改小一些,比如2,点击create baseline