信号发生器设计论文温度传感器设计论文.doc

信号发生器设计论文温度传感器设计论文静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计摘要:信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DDS信号发生器,并分别采用并行和串行2种方式加载芯片控制字,均可生成多路频率相位可调的信号发生器,具有频率稳定性好,频率准确度高及频率分辨率高,相位差精准的特点。关键词:信号发生器;DDS;同步;并行加载;串行加载 DesignofMultipleSynchronizingDDSSignalGeneratorforElectrostatically SuspendedMicro-gyroscope QINZhen-ni1,2,LIUWu1,2,CHENWen-yuan1,2,CUIFeng1,2,ZHANGWei-ping1,2(,InstituteofMicroandNanoScienceandTechnology, ShanghaiJiaotongUniversity,Shanghai200240,China;-fabricationofMinistryofEducation, InstituteofMicroandNanoScienceandTechnology,ShanghaiJiaotongUniversity,Shanghai200240,China) Abstract:Thesignalgeneratorisanessentialpartoftheelectrostaticallysuspendedmicro-,whoseamplitudedemodulationneedstablemulti--channelsignals,whosefrequencyandphasecontrollablepreciselywitheitherparallelloadorserialloadmethod,andcharacterizedbyhighfrequencystability,accuracy,:signalgenerator;DDS;synchronizing;parallelload;serialload 0引言静电悬浮微陀螺作为一种新颖的MEMS陀螺,是当代微惯性传感器发展的一个重要方向。它由悬浮扁平转子和上下定子电极组成。通过在电极上施加直流电压产生