刻蚀专项报告--过刻.ppt

RPV刻蚀专项报告一过刻上饶市光电高科技有限公司SRPVHigh-techCo,Ltd主要内容重●过刻的定义●过刻的不良影响●过刻的类型、产生原因及处理方法●总结1过刻的定义重过刻,也叫多刻。是指在刻蚀过程中刻蚀线超出范围(一般为15mm,以不超过丝印栅线为准)所产生的种返工类型,有些公司也将减薄量超过范围包含于过刻,这里只讨论第种情况。由于过刻对电池片电性能影响很大,同时还会影响电池片外观,所以必须对过刻加以控制并进行返工处理。过刻的不良影响事了上图是一角过刻后经丝印的电池片,其效率与产线上相差不大,但外观形成脏污,降级为B类。由于过刻类型有很多种,所以过刻对电性能的影响也不同,效率大多都偏低,但程度不一。因此,有必要对过刻片进行返工处理High-techCo.,,不同类型的过刻片形成原因也各有不同。总体来讲,可分为以下几类(按形成原因分),特别是蚀刻槽的排风。通常刻蚀槽的第二组、第三组排风以及侧排都是关闭的,只通过第一组排风进行调节,这样也避免了其他组排风管的影响,更有利于调节。另外,刻蚀槽的所有风刀都是关闭的,这样也是为了较少其他排风系统的影响。RPV具体调节方法:如果硅片方向的前端刻蚀线过宽,关小第一组排风,1-4道5-8道分别进行调试;如果后端过宽,加大第一组排风。左、右过宽可能与侧排有关,参照前后过宽进行调节。这里只讨论其他异常被排除的情况,其他原因也可能导致上述情况的发生,下文会讲到。RPV典型的因排风异常引起的过刻Microsoftofficewerpoint97-2003排风的具体调节方案刻蚀线过宽,并且较虚。,特別是刻蚀槽滚轮的水平及刻蚀槽整体的安装滚轮不平会导致硅片在液面上行走时波动较大,如果某根滚轮位置偏低,那么经过这根滚轮时药液就会漫至硅片尾部,造成过刻。还有刻蚀槽与水槽一之间的滚轮位置也相当重要,之前1号机就出现过其中一根滚轮偏低,导致硅片出刻蚀槽时,药液流至硅片尾部,造成过刻。由于滚轮异常造成的过刻这里就不一一详尽说明RPV181滚轮某处位置过高或过低某根滚轮位置过高或过低