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1 Introduction to CF(Color Filter) 2 Agenda ? Color Filter 结构及技术要求? Color Filter 制程 BM ( Black Matrix) RGB ITO ? Color Filter 可靠性评价? Color Filter 发展趋势 3 黑白彩色 Color Filter 作用放大 15 倍放大 50 倍肉眼所见 4 Color Filter 结构及技术要求 CF 彩色滤光片 CF 在 TFT-LCD 中的位置普通 CF 剖面图 Glass Substrate (0. 5 mm) BM Film (~ 1μ m) ITO Film (~ μ m) RGBGB R Color Resist ( ~2 μm)5 Color Filter 结构及技术要求 LCD 特性 Color Filter 相关特性 Color Filter 检讨项目色再现性色纯度颜料选定,加工及分散性改良亮度透光率颜料选定,加工及分散性改良以BM细线化以提高开口率各材料透射率最佳化对比度对比度颜料分散性改良改善消偏性 BM遮光性改良及低反射率化高解析度尺寸精度 BM及色材膜高精细化化(曝光制程) 色不均(Mura), 缺陷色不均(Mura) 平坦化涂布特性之改良无析出成分污染液晶表面粗糙度顏料分散性改良可靠性密著性可靠性下层膜与后工程材料密着性、耐热性, 耐光性, 耐化学药品性改良 Color Filter Color Filter 特性要求特性要求 6 Color Filter 结构及技术要求 BM 层功能防止彩色光阻( R、G、B)混色提升 LCD 对比对 TFT 元件遮光保护特性要求遮光性强(光学密度 OD> ) 反射率低(< 4 %, ?=550nm) 与玻璃/ITO 的附着性好膜层材料金属 Cr (Cr, CrOx/CrNy/Cr) 黑色树脂(Resin) (无电解电镀)镍石墨各种各种 BM BM 反射率比较反射率比较 7 Color Filter 结构及技术要求注:◎佳○可△劣 8 Color Filter 结构及技术要求高透过率 RGB层 x y x y x y NTSC EBU CRT TFT-LCD Red Green Blue高色纯度?△ R,G,B : NTSC > EBU ≒ CRT > TFT-LCD NTSC : National Television mittee EBU: European Broadcast Union NTSC Ratio = △ Area / △ Area 9 Color Filter 结构及技术要求彩色滤光片色度特性与膜厚关系彩色滤光片色度特性与膜厚关系 50 45 40 35 30 25 WY 70 60 50 40 Color Reproducibility (%) Standard High Purity High Trans. New HP TV Notebook Monitor Thick Thin R&D Target Standard NTSC High Trans High Purity TV 10 Color Filter 结构及技术要求 ITO 层 90 wt. % In2O3-10 wt.% SnO2 透明、导电※低面电阻一般规格:﹤ 30 Ω/□※高透过率≧ 92 % (550 nm, glass reference) ※一定膜厚 1500 ?± 150 ?※适当的力/热/化学稳定性以利后续 LCD 制程