太阳能光伏设备(综合整理).doc

太阳能光伏设备(综合整理).txt15成熟的麦子低垂着头，那是在教我们谦逊；一群蚂蚁能抬走大骨头，那是在教我们团结；温柔的水滴穿岩石，那是在教我们坚韧；蜜蜂在花丛中忙碌，那是在教我们勤劳。 本文由Jack_mzh_deng贡献
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太阳能光伏设备十大制造企业排行榜
太阳能光伏设备十大制造企业 NO1．无锡尚德太阳能有限公司 施正荣
NO2．常州天合光能有限公司 南京大学硕士生高纪凡 NO3．保定天威英利新能源有限公司 NO4．中电电气（南京）光伏有限公司 NO5．江西赛维 LDK 有限公司 NO6．河北晶澳太阳能有限公司 NO7．江苏林洋新能源有限公司 NO8．宁波太阳能电源有限公司 NO9．上海太阳能科技有限公司 NO10．江苏阿特斯科技有限公司 通威集团董事局主席的刘汉元 彭小峰
中国晶体硅电池制造设备现状（ 中国晶体硅电池制造设备现状（一）
(2009-07-21 14:42:11) 前言：有数据显示，2008 年全球所有光伏电池和模组制造设备销售额达 44 亿美元。而据中国电子专用设备工业协会统计的 数据，2008 年全年中国太阳能光伏设备销售收入将达到 25 亿元。目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳 能电池片、组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与产业链相应的检测设备、模拟器等，已经 具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等开始出口。值得一提的 是，硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多 晶硅铸锭炉已经开始大量在国内企业中使用。继《光伏信息》报 2009 年第 49 期（4 月刊）《金融危机下中国多晶硅项目大 盘点》专题后，本刊又推出此次《中国晶体硅电池制造设备现状调查》专题，数据难免有些出入，肯切期望中国光伏设备企 业批评指正。（由于时间原因，部分企业未能录入，敬请原谅）
据中电四十八所提供数据显示，在 10 太阳能电池制造生产线设备中，国产设备已能提供其中的 8 种，其中有 6 种(扩散 炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、去磷硅玻璃（PSG）设备、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2 种(管式 PECVD、 快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式 PECVD 仍然依赖进口。目前 国内太阳电池注流建线方案为国产和进口设备混搭， 基本以国产为主。 设备投资方面， 一条 25MW 的标准生产线需 3400—6000 万元。我国太阳能电池制造设备目前的技术水平如下：首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自
动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去 PSG 设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显； 第二，国产 PECVD（管式）的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。但它的自动化程度(自动装卸片 )不如进 口设备(进口设备如德国 Centrotherm 公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型 PECVD 目前国内已有企业生产，有待 进一步验证； 第三，国产丝网印刷机(只有手动)，与进口自动化产品的差距也是在自动装卸片(机械手)和自动检测手段上
， 全自动丝网印刷机已有企业生产，工艺有待进一步验证；第四，高温烧结炉技术提高，开始批量在大线上使用；第五，自动 检测分拣设备目前国内已达到国际中等水平。
然而，尽管国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越来越多的客户从价格适中、 性能良好、技术不断进步的国产设备中受益。但我们也应该看到，国内半导体设备厂商在整体技术水平尤其是尖端技术水平 上和国外厂商尚有差距。业内专家指出，国产太阳能光伏设备的竞争力不完全在于设备的性能指标，而在于设备的性能价格 比。成本是太阳能光伏产业的终极目标，业内有句话，光伏设备没有最好的，只有最合适的。据了解，建设一条太阳能电池 生产线， 70%以上的投资是用来购买设备， 而国产设备的价格平均只有国外产品的 1/3—1/2， 采用国产设备辅以少量进口设备， 可以将建线成本降低一半以上。
本文将从晶体硅太阳电池生产工艺流程（图一）中所涉及到的影响太阳能电池光电转换效率的清洗制绒设备、扩散设备、 刻蚀设备、去磷硅玻璃设备(去 PSG)、镀减反射膜（PECVD）设备、印刷电极设备、烘干烧结设备、测试分选设备等典型企业 进行阐述。
图一
晶体硅太阳电池生产工艺流