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六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试--优秀毕业论文.pdf
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工学硕士学位论文六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试DESIGN,ANALYSISANDMEASUREMENTOF6”WAFERTRANSFERSYSTEM刘凯哈尔滨工业大学2008年6月国内图书分类号:TP202+.1国际图书分类号:621工学硕士学位论文六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试硕士研究生:刘凯导师:胡泓教授申请学位:工学硕士学科、专业:机械电子工程所在单位:深圳研究生院答辩日期:2008年6月授予学位单位:哈尔滨工业大学-ClassifiedIndex:TP202+.1U.D.C:621DissertationfortheMasterDegreeofEngineeringDESIGN,ANALYSISANDMEASUREMENTOF6”WAFERTRANSFERSYSTEMCandidate:KaiLiuSupervisor:Prof.HongHuAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:MechanicalandElectricalEngineeringAffiliation:ShenzhenGraduateSchoolDateofDefence:June,2008Degree-Conferring-Institution:HarbinInstituteofTechnology哈尔滨工业大学工学硕士学位论文摘要随着半导体行业的发展,晶圆片作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。国外的晶圆片倒片系统价格比较高,所以设计一种低成本、高可靠性的工业用晶圆片倒片系统很有必要。本文主要成功设计了晶圆片倒片系统的硬件部分,包括机械结构和控制电路。首先进行了系统总体设计,包括技术要求的确定、机械结构设计、电气控制设计、机械装配和电路布线。其中,机械结构设计包括6英寸晶圆片倒片系统结构方案的确定,概念设计和样机设计;电气控制设计包括控制方案的确定、电气元件的选型和电子电路的设计,采用了PLC控制步进电机的方式,能够保证系统的工作可靠性。其次采用计算机辅助分析,对晶圆片倒片系统的执行机构,包括三个上下运动工位和齿轮传动系统进行校核、建模和仿真分析,为实际的运动提供理论基础。根据实际工作情况,设计了晶圆片倒片系统的功能模块,并由此总结出任务需求和工作流程图,为控制软件的编写做好准备。最后在初期的试验与测试中,对它进行了重复定位精度的测试和分析,结果满足要求。在控制软件编写完成以后,就可以对其进行工作流程重复性检测和调试。关键词晶圆片倒片系统;PLC;步进电机;运动学模型-I-哈尔滨工业大学工学硕士学位论文AbstractWiththedevelopmentofthesemiconductorindustry,wafer,asthebasicmaterialofsemiconductor,isusedmoreandmorewidely.Thewafertransfersystem(WTS)isthespecialequipmentinthewaferproductionline,anditisusedfortransferringwafersautomatically.ButthepriceofaninputWTSisveryexpensive.Soitisnecessarytodesignalowcost,highreliabilityWTSfortheindustrialuse.Inthispaper,essfullydesigned,includingmechanicalandcontrolsystem.Firstofall,pleted,includingidentificationoftechnicalrequirements,mechanicaldesign,controlsystemdesign,systemassembly.Themechanicaldesignincludesidentificationofstructurescheme,conceptdesignandsampledesignof6-inchWTS.Whilethecontrolsystemdesignincludesidentificationofcontrolscheme,ponentsandcircuitdesign.Inthecontrolsystem,PLCisusedtocontrolstepperdriver,whichcanensurethereliabilityofthesystem.puterAidedEngineeringisappliedtocarryoutverification,modelingandsimulationanslysisoftheimplementationofWTS,includingthethreeverticalmotionworkingplacesandthegearsystem.Itprovidestheoreticalfoundationforactualmovements.Accordingtotheworkingsituation,thefunctionalmodesofWTSaredesigned,andthentheflowchartissummarizedforthefollowingcontrolprogram.Finally,intheinitialtests,essful.Whenthecontrolprogramisfinished,repetitivetestinganddebuggingcanbedoneinfinalstep.Keywordswafertransfersystem,PLC,steppermotor,dynamaticmodel-II-哈尔滨工业大学工学硕士学位论文目录摘要...................................................................................................................IAbstract...........................................................................................................II第1章绪论..................................................................................................11.1课题背景................................................................................................11.2本课 内容来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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  • 时间2014-07-03
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