基于微透镜阵列交互式多公差同步分析方法.pdf

第50卷第2期 内蒙古师范大学学报(自然科学版) Vol. 50 No. 2

2021 年3 月 JournalofInner MongoliaNormalUniversity (NaturalScienceEdition)
基于微透镜阵列的交互式多公差同步分析方法
雷盼灵， 钱超义， 王 旭， 王志萍， 许雪芬
(无锡职业技术学院基础课部，江苏无锡214121)
摘要：微透镜阵列经常被用于改善激光辐照度分布均匀性，相对于单种公差对辐照度分布均匀性影响的研
究，多种装配公差对辐照度分布均匀性影响的研究很少。通过构建自动化的误差分析平台，可以将多种装配公差
同时输人，并将分析结果以可视化的方式进行同步呈现。利用这一平台分析了透镜阵列在三个空间轴上的距离误
差、偏移误差、旋转误差以及多种公差的叠加，并获得输出光束照度分布随之变化的规律。使用该平台对几个案例
进行分析，结果表明该平台简单直观且同时实现对多种公差进行分析，对微透镜阵列的装调具有很好的指导作用。
关键词：微透镜阵列；激光整形；公差分析；交互式
中图分类号：TN 249 文献标志码：A 文章编号：1001 —8735(2021)02 —0158 —07
doi： 10. 3969/j. issn. 1001 —8735. 2021. 02. 009
随着科技的进步，电子产品在工作生活中占据着重要的地位，其核心部件就是印刷电路板［ 1］ 。而印刷电
路板制造的主流技术是光学投影曝光光刻技术，光刻机的性能即能量分配的均匀性对印刷电路板的分辨率
起着决定性的作用，因此光刻机的一个关键技术即是激光整形技术［ ］ 。激光整形技术就是将激光在空间中
的能量分布进行重新分配，使其在加工的目标面上产生均匀的辐照度分布 ［ 4］ 。此外，激光整形技术还广泛
地应用于激光打印、材料微加工和医疗手术等领域，激光整形的效果直接决定了仪器整体性能的优劣。
目前常用的激光整形方法有二元光学元件、液晶空间光调制器、双折射透镜组、随机相位板、自由曲面光
学元件进行整形、微透镜阵列等［ 7］ 。其中，微透镜阵列是激光整形里面一种非常普遍的方法，其具