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文档分类:通信/电子

基于微透镜阵列交互式多公差同步分析方法.pdf


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基于微透镜阵列交互式多公差同步分析方法.pdf
文档介绍:
第50卷第2期 内蒙古师范大学学报(自然科学版) Vol. 50 No. 2
Mar.2021
2021 年3 月 JournalofInner MongoliaNormalUniversity (NaturalScienceEdition)

基于微透镜阵列的交互式多公差同步分析方法

雷盼灵, 钱超义, 王 旭, 王志萍, 许雪芬

(无锡职业技术学院基础课部,江苏无锡214121)

摘要:微透镜阵列经常被用于改善激光辐照度分布均匀性,相对于单种公差对辐照度分布均匀性影响的研
究,多种装配公差对辐照度分布均匀性影响的研究很少。通过构建自动化的误差分析平台,可以将多种装配公差
同时输人,并将分析结果以可视化的方式进行同步呈现。利用这一平台分析了透镜阵列在三个空间轴上的距离误
差、偏移误差、旋转误差以及多种公差的叠加,并获得输出光束照度分布随之变化的规律。使用该平台对几个案例
进行分析,结果表明该平台简单直观且同时实现对多种公差进行分析,对微透镜阵列的装调具有很好的指导作用。
关键词:微透镜阵列;激光整形;公差分析;交互式
中图分类号:TN 249 文献标志码:A 文章编号:1001 —8735(2021)02 —0158 —07
doi: 10. 3969/j. issn. 1001 —8735. 2021. 02. 009


随着科技的进步,电子产品在工作生活中占据着重要的地位,其核心部件就是印刷电路板[ 1] 。而印刷电
路板制造的主流技术是光学投影曝光光刻技术,光刻机的性能即能量分配的均匀性对印刷电路板的分辨率

起着决定性的作用,因此光刻机的一个关键技术即是激光整形技术[ ] 。激光整形技术就是将激光在空间中

的能量分布进行重新分配,使其在加工的目标面上产生均匀的辐照度分布 [ 4] 。此外,激光整形技术还广泛
地应用于激光打印、材料微加工和医疗手术等领域,激光整形的效果直接决定了仪器整体性能的优劣。
目前常用的激光整形方法有二元光学元件、液晶空间光调制器、双折射透镜组、随机相位板、自由曲面光

学元件进行整形、微透镜阵列等[ 7] 。其中,微透镜阵列是激光整形里面一种非常普遍的方法,其具
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