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1 Chiller 简介? Chiller 是一种集成电路制造中用于制冷的系统。其主要用在 DRY ETCH , CVD , CMP 和 RTP 的制程中控制硅片托盘和反应腔的温度。?随着半导体制造工艺的不断提升,使得制程工程师对 chiller 的温控精度的要求越来越高。目前普遍的精度要求为+/- ℃,其工作原理是用 16 位的 A/D 转换器来读写温度传感器。 2 Chiller 的结构?一台 Chiller 主要包括压缩机,高压泵,散热装置和热交换器四大部件。??而用于控制温度是所必需的冷却液,则要根据半导体制造要求采用去离子、电阻率高的液体,通常要求大于 5 Mhom 。这样当冷却液流经反应腔时不会使得腔内的运动的等离子产生偏转和旋涡效应。 3 Chiller 分类?根据功能来分, Chiller 分为两类: ?可制冷/制热两种模式的 chiller ?只制热的 chiller ?根据生产厂家来分,可分为: ? MAT -意大利? NESLAB -美国等 4两种工作模式 Chiller 有两种工作模式: 制冷和制热。当温度高于某个值时, A处的阀门打开,机器进行制冷; 当温度较低时,机器制热, A阀门关闭。用 A/D 转换器来读写温度传感器,根据温度调节制冷制热量。 5制冷工作模式低压气态制冷剂流经 1处时被加压为高压制冷剂。然后在2处被高压泵加压为液态。液态制冷剂流到 4处时, 由于压力突然降低,制冷剂迅速气化,由于气化是吸热过程,从而达到制冷目的。 1 ,2两处为加压过程, 制冷剂温度会上升,所以在 2 处加了风扇,因此系统热量是在 2处通过风扇吹风到冷凝机上的方式排放到空气中的。 6制热工作模式制热模式下制冷剂在 5 处被加热,然后流到蒸发器里,从而达到制热的目的 7 Chiller 原理图 1压缩机 2冷凝机 3过滤制冷剂液化气化吸热制冷制冷剂的循环水将冷传至设备主设备 4蒸发器水的循环 8 Chiller 的自动控温系统? Chiller 的温度由一个小型单片机系统控制: