质量部控制计划(硅片).xls

上海卡姆丹克太阳能科技有限公司质量管理部控制计划检验项目操作描述控制方法表面检测用目测的方法检验硅片的表面质量不得有孪晶,多晶,裂痕,裂纹,孔洞,缺角,V形缺口崩边的缺口长度≤ ,深度≤ ,且每片崩边数不超过 2个表面需清洗干净,无可见斑点,沾污及化学残留物硅片表面局部凹凸不平深度≤20um, 切割线痕深度≤20um 弯曲度,翘曲度≤50um 损伤层深度≤15um 尺寸检测用游标卡尺测量硅片尺寸规格 6"直径 150 + 边距 125 + 边长 83+1弦长 30+1 厚度、电阻率检测用MS-203 检测硅片的厚度、电阻率和 TTV 厚度 200 +20 电阻率 P(B) -1 1~3 3~6 6~9 TTV≤30um, TTV 以五点测量法为准寿命检测用WT-1000 测试寿命 LT >1us 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司质量管理部控制计划控制方法取样抽样数样本数不得有孪晶,多晶,裂痕,裂纹,孔洞,缺角,V形缺口全检每批崩边的缺口长度≤ ,深度≤ ,且每片崩边数不超过 2个全检每批表面需清洗干净,无可见斑点,沾污及化学残留物全检每批硅片表面局部凹凸不平深度≤20um, 全检每批切割线痕深度≤20um 全检每批弯曲度,翘曲度≤50um 全检每批损伤层深度≤15um 全检每批 "8"165 + + 1片每批 125 + + 1片每批 +1125 +1 1片每批 +122+1 1片每批 200 +20 450 P(Ga) - 450 -3 450 2~4 450 3~6 450 >6 450 ≤30um, TTV 以五点测量法为准 250 >1us 5每批控制计划样件/OTS □试生产□正式生产[√] 主要联系人/ 电话日期( 编制) 日期( 修订) 控制计划号: 零件号/ 最新更改等级多功能小组顾客工程批准/ 日期( 如需要) 零件名称/ 描述公司批准/ 日期顾客质量批准/ 日期( 如需要) 公司公司代码其它批准/ 日期( 如需要) 其它批准/ 日期( 如需要) 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司零件/ 工序号工序名称/ 操作描述特性制造用机器设备, 夹具、工装特殊特性分类方法反应计划编号产品过程产品/ 工序评价测量技术取样控制方法规范/ 公差数量频率 PC- PJ- 140 直径/ 对角线数显游标卡尺、模板 6":150 ± ":165 ± m 8":200 ± 9": 220 ± 1片每批方片检验单加严抽检, 超标品按二等品入库 3/12 控制计划样件/OTS □试生产□正式生产[√] 主要联系人/ 电话日期( 编制) 日期( 修订) 控制计划号: 零件号/ 最新更改等级多功能小组顾客工程批准/ 日期( 如需要) 零件名称/ 描述公司批准/ 日期顾客质量批准/ 日期( 如需要) 公司公司代码其它批准/ 日期( 如需要) 其它批准/ 日期( 如需要) 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司零件/ 工序号工序名称/ 操作描述特性制造用机器设备, 夹具、工装特殊特性分类方法反应计划编号产品过程产品/ 工序评价测量技术取样控制方法规范/ 公差数量频率 PC- PJ- 150 边距数显游标卡尺、模板 6"和 ":125*125 ± 1片每批方片检验单加严抽检, 超标品按二等品入库 PC- PJ- 160 边长 6":83 ± 1mm ":117 ± 1mm 8":125 ± 1mm 9": 不测 1片每批方片检验单加严抽检, 超标品按二等品入库 PC- PJ- 170 弦长 6”:30 ± 1mm ”: ± 1mm 8”: 22± 1mm 1片每批方片检验单加严抽检, 超标品按二等品入库 PC- PJ- 180 倒角偏差< 1片每批方片检验单加严抽检, 超标- PJ- 015 数显游标卡尺校准周期 1年 1次每年检定证书停止使用, 立即外校 PC- PJ- 190 厚度 MS- 203 多功能测试系统、 WT- 1000 、 DLY -Ⅱ型型号测试仪 200 ± 20μm 4片 50片方片检验单全检, 超标品投料 PC- PJ- 200 电阻率 P:1 - 3/3 - Ga: - - - /> 4片 50片方片检验单 P: < 投料 -1 按二等品入库>6 按表面电阻率分档入库 Ga:< 投料 PC- PJ- 210 TTV≤ 30μm 2片 50片方片检验单 30- 40 按二等品入库, >40 投