《耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制-论文》.pdf

第 卷第 期 低 温 与 特 气 ．．．
年 月 ．，
· 工 艺 与 设 备 ·
耐特种气体 腐蚀涡旋干泵 的研制
金花子 ，吴 杰 ，南 泉 ，熊天英
中国科学院 金属研究所 ，辽宁 沈 阳 文化 路 号
摘 要 ：采用化学镀 、***涂料 和真空离子镀 技 术对 涡旋 干泵 实施 防护涂层 ，对转子和定子 采用化学镀镍 磷和***
涂料封 闭技术制备 防护涂层 ；对 曲柄轴和 曲柄销采用 技术制备 ／多层复合 防护镀层 。通过腐蚀 试验表
明 ，防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀 ，能够有效地提高 涡旋 干泵 的使用寿命 。
关键词 ：特种气体 ；真 空泵 ；腐蚀 ；防护涂层
中图分 类号 ： 文献标志码 ： 文章编号 ：——
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涡 旋 真 空 泵 的研 究 始 于 世 纪 年 代 末 铝合金 材料 ，防护 方 法采 用 阳极 氧 化法 。涡旋 干泵
期】引，随着涡旋真空泵在半导体行业 中的应用不断 由于没有油的冷却和密封 ，抽气系统直接接触介质
扩大，对洁净的真空系统获得要求也越来越苛刻