机械工程毕业论文 用于探针台的高精度运动平台的研究.pdf

硕士学位论文

用于探针台的高精度运动平台的研究

RESEARCH ON HIGH-PRECISION MOTION
PLATFORM FOR PROBE STATION






罗庆满












哈尔滨工业大学
2013 年 12 月

万方数据
国内图书分类号：TP23 学校代码：10213
国际图书分类号： 密级：公开



工程硕士学位论文

用于探针台的高精度运动平台的研究




硕士研究生： 罗庆满
导师： 于 刚 副教授
申请学位： 工程硕士
学科： 机械工程
所 在 单 位： 深圳研究生院
答 辩 日 期： 2013 年 12 月
授予学位单位： 哈尔滨工业大学






万方数据
Classified Index: TK83
:532


Dissertation for the Master’s Degree in Engineering

RESEARCH ON HIGH-PRECISION MOTION
PLAFORM FOR PROBE STATION





Candidate: Qingman Luo
Supervisor: Associate Prof. Gang Yu
Academic Degree Applied for: Master’s of Engineering
Specialty: Mechanical Engineering
Affiliation: Shenzhen Graduate School
Date of Defence: December, 2013
Degree-Conferring-Institut