FEMAG晶体生长专业模拟软件.doc

FEMAG晶体生长专业模拟软件.docFEMAG晶体生长专业模拟软件
FEMAG软件是由比利时鲁汶大学研 发的晶体生长数值仿真软件。20世纪80 年代中期，鲁汶大学Frangois Dupret教 授带领其团队，开始晶体生长的研究，经 过10多年的行业研发及应用，Frangois Dupret教授于2003年成立了 FEMAG
.(总部设在比利时Louvain-la-Neuve 市)，正式推出晶体生长数值仿真软件 FEMAGo如今，FEMAG软件已成为全球 行业用户高度认可的数值仿真工具，在晶 体生长数值模拟领域处于国际领先地位。
产品与服务
FEMAG Soft擅长所有类型晶体材料生长方面的工艺模拟专业技术，比如:
直拉法(Czochralski)
区熔法(Floating Zone)
适用于铸锭定向凝固过程工艺(DS), Bridgman法
物理气相传输法(PVT)
产品模块
FEMAG/CZ-Czochralski (CZ) Process
适用于Czochralski直拉法生长工艺和Kyropoulos生长工艺
FEMAG/DS-Directional Solidification (DS) Process
适用于铸锭定向凝固过程工艺
FEMAG/FZ-Float Zone Process (FZ)
适用于区熔法生长工艺
主要功能
全局热传递分析
“全局性”即包涵所有拉晶要素在内，并考虑传热模式的耦合。全局热传 递模拟分析，主要考虑:炉内的辐射和传导、熔体对流和炉内气体流量分析。
热应力分析
按照经验，一般情况下，晶体位错的产生与晶体生长过程中热应力的变化 有着密切的关系。该软件可以进行三维的非轴对称和非各向同性温度场热应力 分析计算，可以提出对晶体总的剪切力预估。
“位错”的产生是由于在晶体生长过程中，热剪应力超越临界水平,被称为 CRSS（临界分剪应力），而导致的塑性变形。
3•点缺陷预报
该软件可以预知在晶体生长过程中的点缺陷（自裂缝和空缺）,该仿真可以很 好的预测在晶体生长过程中点缺陷的分布。
动态仿真
动态仿真提供了对复杂几何形状对于时间演变的预测。该预测把发生在晶 体生长和冷却过程中所有瞬时的影响因素都考虑在内。为了准确地预报晶体点 缺陷和氧分，布动态仿真尤其是不可或缺的。
固液界面跟踪
在拉晶的过程中准确预测固液界面同样是一个关键问题。对于不同的柑祸 旋转速度和不同的提拉高度，其固液界面是不同的。
加热器功率预测
利用软件动态仿真反算加热功率对于生长合格晶体也是非常必要的。
绘制温度梯度
通过仿真，固液交界面的温度梯度可以很方便的计算出来。这一结果对于理 论缺陷的预报是非常有用的。
将熔炉分为宏观单元（macro
技术特色
全局建模（Global modeling ）
elements),包含液体与固体成分、散热机箱、cement接合单元
时间相关建模(Time dependent modeling) 使用与时间相关的仿
真模型，比如准稳态、准动态、Cz生