基于som网络的三维集成缺陷检测技术研究.pdf

分类号 学号 M201370377
学校代码 10487 密级




硕士学位论文




基于 SOM 网络的三维集成缺陷
检测技术研究




学位申请人 ： 陈鹏飞
学 科 专 业： 机械电子工程
指 导 教 师： 廖广兰 教授
答 辩 日 期： 2016 年 5 月 17 日
A Thesis Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Master of Engineering




Research of defect inspection technology for 3D integration
based on SOM neural network








Candidate: Chen Pengfei
Major: Mechatronic Engineering
Supervisor: Professor Liao Guanglan



Huazhong University of Science and Technology
Wuhan, Hubei 430074, P. R. China
May, 2016
独创性声明

本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研
究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或
集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在
文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。

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日期： 年 月 日