激光驱动mems器件仿真以及深度优化.pdf

学校代码：10259
学 号：156091112
密 级：公开






上海应用技术大学
硕士学位论文


题 目： 激光驱动 MEMS 器件仿真以及深度优化
英文题目： Laser-driven MEMS device simulation and
depth optimization
专 业： 机械制造及其自动化
学 院： 机械工程学院
研究方向： MEMS 器件仿真
姓 名： 张洋洋
指导教师： 伍林 教授




2018 年 5 月 24 日
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