氮化铝共烧基板金属化及其薄膜金属化特性研究.pdf

分类号 密 级
U D C 注l
学 位 论 文
氮化 铝 共 烧基板金属 化及 其薄膜金属 化特性研究
( 题名 和副题名 )
胡永达
( 作者姓名)
指 导教师 姓名 杨邦朝 教授
、 、 、
( 职务 职称 学位 单位名 称及地 址 )
申请专业学 位级 别 博士 专业名 称
竺
论文提交 日期 ZQQZ 盛— 论文 答辩 日期
学 位授予单位和 日期 电子科技大 学
答 辩委员会主席
评 阅人
年 月 日
。
注 1 : 注 明 《国际 十进分类法 U D C 》 的类号
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St u d y o f ht e C h a r a c t e r o f A lu m i n u m N it r id e C o if er
M e t a li z a t io n a n d M u lit lay e r T hi n F ilm M e t a liz a it o n
-
M aj or : 丛鱼坦丝坦匹画鱼卫园 S o li d S t a t e E l e e t or n ic s
.
A d v i s o r : 竹 o f B a n 只c h a o y 直n
D o c t o f : y 6 n g d a H u
独 创 性 声 明
本人 声明所呈交的学位论文 是本人 在导师指 导下进行 的研究工
作及取得 的研 究成果 。 文 中除 了特 别加 以标注 和致谢 的地方 外 , 论
文 中不包含其 他人 已 经发表或撰 写过的研 究成 果 , 也不 包含 为获得
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共 事 的同志对 本研 究所作 的贡献均 己在论文 中作 了 明确 的说 明并表
示 了谢意 。
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签 名 弋问月又迫