蓝宝石基er掺杂aln薄膜材料制备研究.pdf

分类号 密级
UDC 注 1

学 位 论 文

蓝宝石基 Er 掺杂 AlN 薄膜材料制备研究
（题名和副题名）


胡现伟
（作者姓名）


指导教师 杨成韬 教 授
电子科技大学 成 都
（姓名、职称、单位名称）
申请学位级别 硕士 专业学位类别 工 程 硕 士
工程领域名称 材料工程
提交论文日期 论文答辩日期
学位授予单位和日期 电子科技大学 2018 年 06 月
答辩委员会主席
评阅人



注 1：注明《国际十进分类法 UDC》的类号。
Research on Preparation of Er Doped Aluminum
Nitride Thin Films on Sapphire Substrate






A Master Thesis Submitted to
University of Electronic Science and Technology of China








Discipline: Master of Engineering
Author: Xianwei Hu
Supervisor: Prof. Chengtao Yang
School: School of Electronic Science and Engineering
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独创 性 声 明
Ｉ本 人 声 明 所呈 交 的 学 位 论 文 是 本 人 在导 师指 导 下 进行 的 研 究 工作
及 取得 的 研 究 成 果 。 据 我所 知 ， 除 了 文 中 特 别加 以 标注 和 致 谢 的 地方
，
１ 外 ， 论 文 中 不 包含 其 他人 已经 发 表或 撰写