0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究.pdf

学校 代 码
学 号
权里大
硕 士 学 位 论 文
专业学位
微米闪存工艺平台开发与优化研究
系 信息科学与工程学院
业 集成 电路工程
名 孙士祯
指 导 教 师 胡光喜 教授 韩永召 高工
完 成 日 期 年 月 日
目 录
摘 要 … … , … …
… …
第 一章 引言 … …
不 挥 发存储器 的概 述 ……, ……, ……,二,, ……,二, ……
存 储器 与不挥 发存 储器 ……, ……
存 储器 的分类 ……, ……
非 挥发存 储器 的特 性 ……, ……
闪存 存储 器 的种 类 ……
型 闪存存 储器 ……
型 闪存 存储 器二, ……, ……` ……
与 型 存储 器 的 比较 ……
微米 的的 构架 ……, ……
第 二章 不挥 发存储器器件结构与原理 … …
不挥 发存 储器 的结构 ……, ……
浮 栅存储器 的结 构 一 ……
电荷俘 获型存 储器 的结 构 ……, ……
不 挥 发存 储器 的工作 方式 ……, ……, ……
不挥发 存储器 工作 原理 ……
不 挥发存储 器工 作 的机制 ……, ……
微 米 器 件 的结 构 与特 性 ……,