氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能.pdf

2021 -
， ，
氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能
刘炘城 邵海成 乔冠军 陆浩杰 于刘旭 张相召 刘桂武
， ， ， ， ， ，
江苏大学材料科学与工程学院 镇江
， 212013
以 Al2 O3 陶瓷作为基底，采用磁控溅射和丝网印刷两种工艺在其表面制备导电 Au 膜，并通过控制变量法制备不同参数下不同厚度的 Au 膜，
对两种制备工艺进行了系统性的深入研究。 通过高精度电阻测量仪、扫描电子显微镜( SEM) 、能谱仪( EDS) 分析热处理前后 Au 膜的导电性能
及微观形貌，采用激光共聚焦显微镜( CLSM) 表征 Au 膜表面的粗糙度。 结果表明:磁控溅射制备的纳米 Au 膜的导电膜厚阈值为 30 nm，膜层对
基底面粗糙度改变较小。 对纳米 Au 膜进行 600 ℃热处理后，Au 发生固态润湿，导致电阻值急剧增大，导电性能下降。 借助丝网印刷工艺，采用
40％( 质量分数) 的金浆和 200 目丝网即可印刷得到导电性良好的 Au 膜，该工艺能够有效节约成本和金浆。
关键词 磁控溅射 丝网印刷 Au 膜 导电性
中图分类号: 文献标识码:A
Preparation Process and Performance of Continuous Conductive
Au Film on Surface of Al2O3 Ceramic
LIU Xincheng， SHAO Haicheng ， QIAO Guanjun， LU Haojie， YU Li