多孔硅一维光子晶体生物传感器的研究.pdf

摘 要
一维光子晶体是介电常数在一个空间方向上呈周期变化的分层介质，而在垂
直于介质层的方向上，折射率是空间坐标的一维周期性函数。近些年来，基于多孔
硅材料的光子晶体生物传感器因其同时具有多孔硅大的内表面积、硅基等特点，以及光
子晶体传感器灵敏度高、响应快、实时性好、免标记、可遥控、结构紧凑、无电磁干扰
和安全性高等特性而得到了较多的研究。其中，一维多孔硅光子晶体生物传感器制备简
单、造价低廉，研究也最为广泛。
但是目前各种一维结构多孔硅光子晶体生物传感器的研究均是在假设认为较小的
生物分子在多层多孔硅结构中应呈均匀分布的基础上，而有关生物分子在多层多孔硅结
构中的实际分布研究尚未见研究报道。考虑到在多孔硅基生物传感器的实际商业开发
中，生物分子是否均匀分布在多孔硅多层中对于一维多孔硅光子晶体的设计研发有很重
要的意义，因此，本文利用一维多孔硅光子晶体的反射光谱分析技术结合多层多孔硅的
转移矩阵理论，实验与理论上分别对比研究了小生物分子在一维多孔硅光子晶体中个层
次的分布情况。
本文采用电化学腐蚀方法实验制备出一维多孔硅微腔结构，通过滴加 APTES 试剂
并测量了 APTES 小分子充分进入到一维多孔硅微腔前后的反射光谱；并同时对比进行
了理论仿真了小分子进入到一维多孔硅微腔前后的反射光谱。通过光谱的分析，研究发
现即使生物分子体积相对多孔硅孔径足够小，生物分子在多层多孔硅中也不是均匀地分
布在每一层中，并且很难进入到多层多孔硅的底部层次，此项研究也提示我们在多孔硅
基生物传感器的实际商业开发中应该尽可能选用层次较少或平面光子器件结构。
关键词：多孔硅；表面处理；生物传感器；光学检测应用
I
Abstract
Various optical detecting applications based on porous silicon (PS) have attracted a great
attention due to its remarkable optical properties and large functional surface area. PS, with
its particular surface morphology, makes this material very suitable for many different
applications in various fields.
However, at present, the study of multilayered PS-based biosensors of various one
dimensional PS structures are all based on the assumption that the smaller biological
molecules in the multilayered PS are distributed uniformly in each layer, while the real
distribution of the biological molecules in the multilayer structure of PS has not been reported.
Whether biological molecules are distributed uniformly in each layer has very important
significance in the design and development of accurate multilayered PS-based biosensors.
Therefore, in this paper, we contrast and analyze the distribution of the small biological
molecules in the PS microcavity biosensor from theory and experiment respectively. The
reflection spectral analysis technology and the