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氧化钒薄膜制备工艺及其相变特性研究.pdf

文档分类：汽车/机械/制造 | 页数：约63页举报非法文档有奖

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文档列表 文档介绍

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氧化钒薄膜制备工艺及其相变特性研究

Research on Preparation Process and
Phase Transition Characteristic of
Vanadium Oxide Thin Films

学科专业：微电子学与固体电子学
研究生：武斌
指导教师：胡明教授

天津大学电子信息工程学院
二零一二年十二月 : .

独创性声明

本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的
研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表
或撰写过的研究成果，也不包含为获得天津大学或其他教育机构的学位或证
书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中
作了明确的说明并

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