glsi多层铜布线cmp碱性低磨料铜精抛液的研究.pdf


文档分类:汽车/机械/制造
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文档介绍
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分类号: TN305.2 密级: 公开
U D C: 编号:





河北工业大学硕士学位论文


GLSI 多层铜布线 CMP 碱性低磨料铜精抛液的
研究



论 文 作 者: 王仲杰 学 生 类 别:全日制
专业学位类别: 工程硕士 学 科 专 业:集成电路工程
指 导 教 师: 王胜利 职 称:教授










资助基金项目:国家科技重大专项子课题 (2016ZX02301003-004-007) 河北省自然科学
基金青年基金(F2015202267)Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF .

Dissertation Submitted to
Hebei University of Technology
for
The Master Degree of
Integrated Circuit Engineering




RESEARCH ON ALKALI CMP SLURRY FOR PRECISE
POLISHING OF CO
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