glsi多层铜布线cmp碱性低磨料铜精抛液的研究.pdf

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河北工业大学硕士学位论文


GLSI 多层铜布线 CMP 碱性低磨料铜精抛液的
研究



论 文 作 者： 王仲杰 学 生 类 别：全日制
专业学位类别： 工程硕士 学 科 专 业：集成电路工程
指 导 教 师： 王胜利 职 称：教授










资助基金项目：国家科技重大专项子课题 (2016ZX02301003-004-007) 河北省自然科学
基金青年基金（F2015202267） : .

Dissertation Submitted to
Hebei University of Technology
for
The Master Degree of
Integrated Circuit Engineering




RESEARCH ON ALKALI CMP SLURRY FOR PRECISE