非制冷红外探测器夹层厚膜工艺及介电性能研究-范茂彦.pdf

1104 2009 年第 7 期( 40) 卷
非制冷红外探测器夹层厚 极材料也是目前研究铁电器件的关键内容, 不同底电
中图分类号: TG142. 2 文献标识码: A - 6
极材料的热膨 胀系数有所不同, 如 APt = 9 @ 10 / e ,
文章编号: 1001-9731( 2009) 07-1104-04 - 6
RuO BST
A 2 = 5. 2 @ 10 / e , 它们 与 BST 的值 ( A = 4 @
1 引 言 10- 6 / e ) 存在差异, 在沉积或退 火处理的过 程中, 若
BST 与底电极热膨胀系数失配严重, BST 薄膜可能会
非制冷热像仪研制始于上世纪 70 年代中期。美
出现裂纹, 裂纹对 BST 薄膜的介电性能会有明显的影
国国防部夜视和光电管理局制定了一系列计划推进了
响。用作 薄膜探测器的电极材料 要求有较低的
非制冷热释电探测器技术的发展。这一领域的最早开 BST ,
电阻率、良好的热稳定性、足够的抗氧化能力以及较好
发者之一是得克萨斯仪器公司, 1979 年该公司制成了
的吸附性等。为了解决 Pt 电极易使铁电薄膜出现老
100 @ 100 元的钛酸锶钡铁电陶瓷焦平面列阵, 1981 年