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光学薄膜工艺基础知识培训.ppt


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文档列表 文档介绍
光学薄膜 工艺参数与影响因素
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第一页,共15页。
第二页,共15页。
第三页,共15页。
第四页,共15页。
第五页,共15页。
第六页,共15页。
第七页,共15页。
1.工艺参数与薄膜性能的关系
2.影响光学性能的因素 3.影响薄膜机械性能的因素 4.影响薄膜环境稳定性的因素
5.总结
*
光学薄膜工艺因素
第八页,共15页。
所以工艺因素对膜层内部结构产生了影响,使得对薄膜的各种性能产生影响 ,总结影响如图所示:
*
第九页,共15页。
工艺因素对薄膜性能的影响机理大致为:
一. 基片材料
1. 膨胀系数不同 热应力的主要 原因 ;
2. 化学亲和力不同 影响膜层附着力和牢固度;
3. 表面粗糙度和缺陷 散射的主要来源。
二. 基片清洁
残留在基片表面的污物和清洁剂将导致:
1. 膜层对基片的附着力差;
2. 散射吸收增大抗激光损伤能力差;
3. 透光性能变差。
*
第十页,共15页。

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  • 时间2022-05-20