征求-表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析.pdf

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ICS 71............................. 10
13 精密度和准确度 ................................................................... 10
14 测试报告 ......................................................................... 10
附录 A（资料性） TXRF 测量不确定度 12
附录 B（资料性） 方法验证 15
参考文献 ............................................................................. 20
IGB/T XXXXX—XXXX/ISO 20289:2018
前 言
本文件按照GB/T —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T
—2020《标准化工作导则 第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 20289:2018《表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析》。
与本文件中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下：
——GB/T 6682—2008《分析实验室用水规格和试验方法》（ISO 3696:1987,MOD）
——GB/T 12997-1991《水质 采样方案设计技术规定》（ISO 5667-1:1980,IDT）
——GB/T 12999-1991《水质采样 样品的保存和管理技术规定》（ISO 5667-3:1985,NEQ）
——GB/T -2004《测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第1部分：总则与定义》（ISO
5725-1:1994,IDT）
——GB/T -2004《测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分：确定标准测量方
法重复性与再现性的基本方法》（ISO 5725-2:1994,IDT）
——GB/T 40110-2021《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染》
（ISO 14706:2014,IDT）
——GB/T 30701-2014《表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射
线荧光光谱法（TXRF）测定》（ISO 17331:2014,IDT）
——GB/T 27418-2017《测量不确定度评定和表示》（ISO/IEC Guide 98-3:2008,MOD）
——GB/T 27419-2018《测量不确定度评定和表示 补充文件1：基于蒙特卡洛方法的分布传播》
（ISO/IEC Guide 98-3/:2008,IDT）
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC 38）提出并归口。
本文件起草单位：中国计量科学研究院、季华实验室、苏州西热节能环保技术有限公司、北京化工
大学。
本文件主要起草人：王海、范燕、王乐乐、程斌、姚燕、张艾蕊、王梅玲、任丹华。

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