XXX软件用户手册.docx

XXX软件用户手册
（软件版本:FMS2. 1）
用户手册 3
概述 3
功能特点 3
系统要求 3
软件安装 3
硬件安装 4
请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》
用户手册
因有测试材料的各项属性数据值、测量数据和统计分析 后数据。
3-【操作栏】：供用户进行测量、重测、自动测量、打开、保存、打印等操作的执行按钮
E］画因
图2 操作栏
四探针测试系统
四特轩iWUt仪设有涅接到计苴机，由将EDfrH
蛔仪连接利1十算心 琦认测M仪电浅巳打开
图3
如果弹出图3提示窗口，用户只需按下【确定】按钮然后将随机配带并口线将四探针测试仪 与计算机连接起来，并打开四探针测试仪的电源。然后重新按【测量】按钮就可以进行测试。 为了更详细和准确采集、记录、分析被测试材料的测量数据，请用户在对测试样品进行测量 前在【测试参数】窗口（如图4）选择测试类别、输入材料的相关属性参数值、确定测量点 的位置。
机参赠口
窗口
图4 测试参数窗口
下面对【选择测试类别】、【输入测试基本参数】、【确定测量位置】三个窗口操作进行说明。

选择测试类别
r模拟电阻
r棒材电阻率
薄层方块电阻
L岛子注入层方块电阻
r双面扩散层方块电阻
r单面扩散层方块电阻
r反型外延层方块电阻
C薄愿片（原度＜=4）电阻率
在此窗口中请用户对要测试的样品选择适当测试类别，共有8种测试类别供选择，如果被测 的类别不在其中，可以选择属性相近类别代替。由于选择不同的测试类别它的相关基本属性 不同，对此窗口的操作会影响到【输入测试基本参数】窗口和【统计测试数据】窗口一些属 性项的变化。用户可以尝试选择不同的测试类别观察到这二个窗口中的一些属性项的增加否 者减少（减少的属性项字体颜色会变灰，表示这些属性项相对于选择测试类别无效）。
【输入测试基本参数】
窗口在用户选择不同测试类别时，厚度、直径、探针平均间距、探针间距修正因子、探针系 数5个属性项会因不同的测试类别需的测试参数不同会自动变无效（属性项变灰用户不能操 作）
【统计测试数据】
窗口记录和显示的数据也会因不同的测试类别一些属性项会变无效，无效的属性项字体变灰 色，属性项数据无显示。

输入测试基本参数
温度（C） |2。 |
湿度（%RH）|击 |
晶片标识|硕
厚度（MM） 5 |
直径（nun） （25 三］
电流童程|1。。心刁
此窗口输入测试时的环境参数和被测试材料的各种基本属性项的数据值。对此窗口的操作会 在【统计测试数据】窗口上记录属性项的数据值。
【输入测试基本参数】
窗口的属性项会因选择测试类别不同而变化（某些属性项会变灰色表示操作无效）。
【温度】、【温度】：测试材料时的环境温度、湿度。
【晶片标识】：对测试的材料作标识，可输入长度为6位的中英文组合字符串，辅助记录测 试的数据。
【厚度】：输入被测试材料的厚度，此属性项只有当测试材料类别是”薄圆片（厚度＜=4）电 阻率”时才有效。
【直径】：可以直接点击列表栏选择或者手动输入被测试材料的直径值。
【电流量程】：选择适当的电流量程来测量样品的电阻率或方块电阻，电阻率测量时可参考
!H时电流量程选择表（部）
电阻率(Q • cm)
电流量程
<
100mA
~
10mA
03 ~ 30
1mA
30 ~ 300
lOOuA
300 ~ 3000
lOuA
>3000
luA
表2方块电阻测量a寸电流薯呈醇表催荐）
方块物（Q口）
电'流量程
<
100mA
~ 25
10mA
20 ~ 250
1mA
200 ~ 2500
lOOuA
2000 〜25000
lOuA
>20000
luA
来选择量程，方块电阻测量时可参考（表2）。
对此项的操作可以直接控制四探针测试仪主机的电流量程档的切换而不用手动到四探针测 试仪去调，用户可通过点击选择电流量程档观察到四探针测试仪主机电流量程档的变化（如 果在切换不同量程档时主机电流量程档没变化请检查四探针测试仪主机跟计算机是否已经 正确连接）。如果用户进行的是【自动测量】可以忽略对此电流量程选择，程序会自行比较 各量程档找出适合此测试材料的电流量程。
【探针系数】：此属性项只有当测试材料类别是”棒材电阻率”时才有效。
探针系数值计算方法：2X n XSo因本公司现时跟RTS-8型四探针测试仪搭配使用的四探针 探头的探针间距都为S=l,所以四探针测试系统探针系数默认值为6. 28。如果用户使用