图案匹配方法、图案匹配程序、电子计算机、电子设备检查装置的制作方法.docx

图案匹配方法、图案匹配程序、电子计算机、电子设备检查装置的制作方法
专利名称：图案匹配方法、图案匹配程序、电子计算机、电子设备检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用于电子设备的电路图案检查的、用于搜索检查点的图案匹配方法、其程称为运算装置)经由拍摄图像输入部来取得拍摄电子设备的检查对象部分而得到的上述拍摄图像。该拍摄图像如在后述的图2中另外说明的那样，包含划线交叉的交叉点。(图1 步骤 S102)运算装置不仅设定后述的图3中所说明的评价窗口 301，还将其评价窗口 301内的一部分设定为模板。该模板在判定是否在该评价窗口 301内存在点对
称图案时使用。细节在图3中另外说明。(图1 步骤 S103)运算装置如在后述的图4 图5中另外说明那样，使在步骤S102中设定的模板旋转来生成模板旋转图像。(图1 步骤 S104)运算装置如在后述的图5中另外说明那样，在各模板旋转图像与相当于旋转模板后的位置的评价窗口 301内的各部分图像之间进行图案匹配。另外，算出以给定的运算式等评价了其匹配结果而得到的匹配得分，并使用针对各模板旋转图像的匹配得分，来算出该评价窗口 301整体的总和匹配得分。(图1 步骤 S105)运算装置如在后述的图3以及图5中另外说明那样，在拍摄图像内一边使评价窗口移动一边扫描拍摄图像，并算出该拍摄图像的全区域的上述匹配得分。(图1 步骤 S106)运算装置判定是否使用评价窗口 301来扫描了该拍摄图像的全区域。若完成全区域的扫描，则前进到步骤S107，若未完成，则回到步骤S102重复同样的处理。(图1 步骤 S107)运算装置如在后述的图6中另外说明那样，基于在步骤S102 S105中算出的匹配得分，来判定是否在该拍摄图像内存在点对称图案。以上，说明了本实施方式1所涉及的图案匹配方法的流程图。接着，使用图2 图6来说明各步骤的细节。图2是表示用显微镜拍摄了检查对象的电子设备中的形成有细微的电路图案的硅晶片部分的图像的图。图2中，在硅晶片的拍摄图像200内存在芯片201、成为芯片的边界的硅晶片的划线203。划线203交叉的部分的中心202(交叉点20 成为图案匹配的搜索对象。这是由于认为以该交叉点202为中心存在点对称图案。此外，图2中所示的十字标记是为了明示地说明交叉点202而赋予到图中的，在实际的划线203上并不存在该十字标记。图3是说明用于进行拍摄图像的图案匹配的评价窗口的图。运算装置选择拍摄图像中的一部分的图像区域，并将其设定为评价窗口 301。该评价窗口 301是从拍摄图像中分离出一部分正方形区域而得到的。评价窗口 301的形状不必非是正方形，只要能使用后述的模板旋转图像来执行图案匹配即可。评价窗口 301还能是用于判定是否存在点对称图案的评价单位。S卩，运算装置不是将拍摄图像整体评价一次来判定是否存在点对称图案，而是将拍摄图像的一部分作为评价窗口 301分离出来来评价是否在其内部存在点对称图案。运算装置一边使评价窗口 301 的位置移动，一边以评价窗口 301为单位来扫描拍摄图像。运算装置最终针对拍摄图像的整体来使用评价窗口 301进行扫描，评价是否在该拍摄图像内存在点对称图案。将评价窗口 301的初期位置例如设为该拍摄图像的左上的顶点。运算装置首先使评价窗口 301向右边方向1个像素1个像素地移动，来扫描该拍摄图